N'ihe gbasara mmepụta ihe dị elu na nnyocha sayensị kachasị ọhụrụ, ikpo okwu mmegharị ikuku na-ese n'elu mmiri nke a na-akpọ precision static pressure air floating platform bụ ihe dị mkpa iji nweta ọrụ dị oke mma. Ntọala ziri ezi nke granite bụ akụkụ na-akwado ikpo okwu ahụ, arụmọrụ ya na-ejikọkwa aka na gburugburu ebe ọrụ. Ịghọta na imezu ihe ndị a chọrọ gburugburu ebe obibi nwere ike ọ bụghị naanị hụ na ọrụ dị oke mma nke ikpo okwu ahụ na-arụ ọrụ, kamakwa ọ bụ akụkụ dị mkpa nke ụlọ ọrụ ahụ iji mee ka asọmpi ya dịkwuo mma n'ọhịa ndị metụtara ya, nke akọwara n'ụzọ zuru ezu n'okpuru.
1. Okpomọkụ: njikwa ziri ezi iji hụ na akụkụ kwụsiri ike
Ọ bụ ezie na a maara granite maka nkwụsi ike ya, mana oke ya nke mgbasawanye okpomọkụ abụghị efu, obere mgbanwe okpomọkụ ka nwere ike imetụta izi ezi ya. N'ikwu ya n'ozuzu, oke mgbasawanye okpomọkụ nke granite bụ 5-7 × 10⁻⁶/℃. N'ọnọdụ ngwa nke ikpo okwu mmegharị ikuku na-ese n'elu mmiri nke nrụgide kwụ ọtọ, obere mgbanwe a na-eme ka ikpo okwu dịkwuo elu, nke nwere ike ibute mgbanwe nke izi ezi mmegharị. Dịka ọmụmaatụ, na usoro mmepụta chip semiconductor, usoro lithography maka nhazi izi ezi achọrọ nke ọkwa danami, mgbanwe okpomọkụ gburugburu ebe obibi nke 1 ° C, ogologo akụkụ nke ntọala granite 1 mita nwere ike imepụta microns 5-7 nke mgbasawanye ma ọ bụ nkwekọrịta ahịrị, nke zuru oke iji mee ka mgbanwe ụkpụrụ lithography chip, belata mmepụta. Ya mere, ikpo okwu ikuku na-ese n'elu mmiri nke ziri ezi nke nwere ntọala ziri ezi granite, okpomọkụ gburugburu ebe ọrụ kwesịrị ịchịkwa nke ọma na 20 ° C ± 1 ° C, ụlọ ọrụ nwere ike itinye sistemụ ikuku oyi na-agbanwe agbanwe nke ọma, na-enyocha ma na-agbanwe okpomọkụ gburugburu ebe obibi mgbe niile, na-edobe nha nkwụsi ike nke ntọala granite, iji hụ na ọrụ nhazi dị elu nke ikpo okwu ahụ.
2. iru mmiri: njikwa ezi uche dị na ya, chebe arụmọrụ ntọala
Iru mmiri na-enwekwa mmetụta dị ukwuu na ntọala granite ziri ezi. N'ebe oke iru mmiri dị, granite dị mfe ịmịkọrọ uzuoku mmiri, enwere ike inwe mmiri ozuzo n'elu ya, nke agaghị egbochi naanị ọrụ nkịtị nke sistemụ ikuku na-efe efe, kamakwa ọ ga-ebute mbibi ogologo oge nke elu granite, na-ebelata izi ezi ya na ndụ ọrụ ya. Dịka ọmụmaatụ, ọ bụrụ na iru mmiri dị elu karịa 60%RH ruo ogologo oge, uzuoku mmiri a na-etinye n'elu ntọala granite ga-emebi otu ihe nkiri ikuku na-efe efe, na-ebute mbelata na izi ezi nke lenzi na ntụpọ elu. Ya mere, a ga-achịkwa iru mmiri dị n'etiti 40%-60%RH. Ụlọ ọrụ nwere ike iji ihe na-ewepụ mmiri mmiri, ihe mmetụta iru mmiri na ngwa ndị ọzọ iji nyochaa ma chịkwaa iru mmiri n'oge, mepụta gburugburu iru mmiri kwesịrị ekwesị maka ntọala granite ziri ezi, ma hụ na ọrụ kwụsiri ike nke ikpo okwu mmegharị ikuku na-efe efe nke nrụgide kwụsiri ike.
3. ịdị ọcha: chịkwaa nke ọma, wepụ nnyonye anya nke ihe ndị na-adịghị mkpa
Ntụ uzuzu bụ "onye iro" nke ikpo okwu mmegharị ikuku na-ese n'elu mmiri nke nrụgide kwụ ọtọ, ma na-emebi ntọala nhazi granite nke ukwuu. Ozugbo obere ihe ndị ahụ banyere n'ọdịdị nke ihe nkiri gas dị n'etiti ihe mmịfe gas na-ese n'elu mmiri na ntọala granite, ha nwere ike imebi otu ihe nkiri gas ahụ, mee ka esemokwu dịkwuo elu, ma ọbụna kpaa elu nke ntọala ahụ, na-emetụta izi ezi nke mmegharị ikpo okwu ahụ nke ukwuu. N'ime ụlọ ọrụ nhazi nke akụkụ ikuku dị oke mma, ọ bụrụ na ihe ndị dị n'ikuku ada na ntọala granite, ụzọ mmegharị nke ngwaọrụ nhazi ahụ nwere ike ịgbanwe, na-emetụta izi ezi nke akụkụ ndị ahụ. Ya mere, a ga-edebe ebe ọrụ dị ọcha nke ukwuu ma ruo ọkwa ịdị ọcha nke 10,000 ma ọ bụ karịa. Ụlọ ọrụ nwere ike ịchacha ihe ndị dị n'ikuku site na itinye nzacha ikuku dị elu (HEPA), ma chọọ ka ndị ọrụ yi uwe na-enweghị uzuzu, mkpuchi akpụkpọ ụkwụ, wdg, iji belata uzuzu nke mmadụ na-eweta, ma nọgide na-enwe gburugburu ọrụ dị elu nke ntọala granite na ikpo okwu mmegharị ikuku na-ese n'elu mmiri.
4. Ịma jijiji: Ịwapụ onwe dị irè iji mepụta oghere dị larịị
Mkpọtụ mpụga ga-egbochi nke ukwuu na nhazi ikuku na-ese n'elu ikpo okwu nrụgide kwụ ọtọ, ọ bụ ezie na ntọala granite ziri ezi nwere ikike igbochi mkpọtụ, mana mkpọtụ siri ike ka nwere ike imebi oke nchekwa ya. Mkpọtụ nke okporo ụzọ gburugburu ụlọ ọrụ mmepụta ihe na ọrụ nke nnukwu akụrụngwa igwe na-emepụta na-ebuga na ntọala granite site na ala, nke ga-egbochi izi ezi nke mmegharị ikpo okwu. Na CMM dị elu, mkpọtụ nwere ike ime ka a tụọ njikọ dị n'etiti nyocha nha na ọrụ ahụ ka ọ ghara ịdịgide, na-ebute mgbanwe nke data nha. Iji dozie nsogbu a, ọ dị mkpa iji usoro mwepụ mkpọtụ dị irè, dị ka itinye pads mwepụ vibration na mpaghara nrụnye akụrụngwa, ntọala mwepụ vibration ụlọ, ma ọ bụ iji sistemụ mwepụ vibration na-arụ ọrụ iji gbanyụọ vibration mpụga nke ọma, ma mepụta gburugburu ọrụ dị jụụ na nke kwụsiri ike maka ntọala ziri ezi granite na ikpo okwu mmegharị ikuku na-ese n'elu ikpo okwu.
Imezu ihe achọrọ maka gburugburu ebe obibi dị n'elu, iji nye uru nke ntọala nkenke granite n'ikpo okwu mmegharị ikuku na-ese n'elu ikpo okwu, iji hụ na ikpo okwu ahụ na-enye ọrụ njikwa ngagharị dị elu na nke kwụsiri ike maka ụlọ ọrụ dị iche iche. Ọ bụrụ na ụlọ ọrụ nwere ike itinye uche na nkọwa ndị a na gburugburu ebe mmepụta, ha ga-eji ohere ahụ mee ihe n'ichepụta ihe ziri ezi, nyocha sayensị na ngalaba ndị ọzọ, mee ka asọmpi ha ka mma, ma nweta mmepe na-adịgide adịgide.
Oge ozi: Eprel-10-2025