Ngwa nke otu axis ikuku na-ese n'elu ultra-precision modul mmegharị site na iji ntọala granite.

Mmepụta Semiconductor: N'ime usoro mmepụta chip, usoro photolithography kwesịrị ibufe ụkpụrụ sekit ahụ kpọmkwem na wafer. Isi granite nke otu axis air floating ultra-precision motion module nwere ike inye ọnọdụ ziri ezi na nkwado kwụsiri ike maka tebụl wafer na akụrụngwa lithography. Dịka ọmụmaatụ, ASML na ndị ọzọ a ma ama na igwe lithography na-eji modulu granite base air floating modul na ngwa ha dị elu, nke nwere ike ijikwa izi ezi nke wafer na ọkwa nanometer iji hụ na izi ezi nke ụkpụrụ lithography ziri ezi, si otú a na-eme ka njikọta na arụmọrụ nke chip ahụ ka mma.
Ebe nha nha nkenke: CMM bụ ngwa nha nha ziri ezi a na-ejikarị eme ihe n'imepụta ụlọ ọrụ mmepụta ihe, nke a na-eji atụ nha, ọdịdị na izi ezi nke ọrụ ahụ. Enwere ike iji modulu mmegharị nke otu axis ikuku na-ese n'elu isi granite dị ka ikpo okwu mmegharị nke CMM, nke nwere ike imezu mmegharị ahịrị dị elu ma nye ụzọ mmegharị kwụsiri ike maka nyocha nha. Dịka ọmụmaatụ, CMM dị elu nke Hexagon na-eji ngwakọta a atụ akụkụ buru ibu na mgbagwoju anya na izi ezi nha ruo ọkwa micron, na-enye nkwa siri ike maka njikwa mma akụkụ na ụlọ ọrụ ụgbọ ala, ikuku na ụlọ ọrụ ndị ọzọ.
Ngalaba Aerospace: N'ịhazi na nnwale nke akụkụ ụgbọelu, a chọrọ ezigbo nhazi. Dịka ọmụmaatụ, nhazi nke agụba injin ụgbọelu chọrọ njikwa ziri ezi nke ụzọ ngagharị nke ngwaọrụ ahụ iji hụ na profaịlụ agụba ziri ezi. Enwere ike itinye ntọala granite nke modulu ngagharị otu axis air float ultra-precision na ebe nhazi axis ise na akụrụngwa ndị ọzọ iji nye njikwa ngagharị dị elu maka ngwaọrụ ahụ ma hụ na izi ezi nke agụba ahụ nwere ike iru ihe achọrọ maka imewe. N'otu oge ahụ, na usoro mgbakọ nke injin aero, ọ dịkwa mkpa iji ngwa nha dị elu iji chọpụta izi ezi nke akụkụ ndị ahụ. Modulu mmegharị ikuku nke ntọala granite nwere ike inye nkwado kwụsiri ike na mmegharị ziri ezi maka akụrụngwa nha iji hụ na ịdị mma nke mgbakọ ahụ.
Ngalaba nyocha anya: N'ime usoro mmepụta na nnwale nke ihe ndị dị na anya, ọ dị mkpa ime nhazi na nha nke ihe ndị dị na anya dị elu. Dịka ọmụmaatụ, mgbe ị na-emepụta ihe ndị dị na anya dị elu dị ka enyo na lenses, ọ dị mkpa iji interferometers na ngwaọrụ ndị ọzọ iji chọpụta izi ezi nke ọdịdị elu. Enwere ike iji ntọala granite nke otu axis air floating ultra-precision modul mmegharị dị ka ikpo okwu mmegharị nke interferometer, nke nwere ike imezu izi ezi nke sub-micron ọnọdụ ma nye nkwado data ziri ezi maka nchọpụta nke ihe ndị dị na anya. Na mgbakwunye, na ngwa nhazi laser, ọ dịkwa mkpa iji ikpo okwu mmegharị dị elu iji chịkwaa ụzọ nyocha nke ihe ndị dị na laser, ntọala granite nke modulu mmegharị ikuku nwere ike imezu ihe a chọrọ, iji nweta nhazi laser dị elu.