N'usoro mmepụta semiconductor kpọmkwem, usoro nnyefe wafer dị ka "elu ndụ nke ahịrị mmepụta chip", nkwụsi ike na izi ezi ya na-ekpebi kpọmkwem ọnụego mmepụta nke chips. Ọgbọ ọhụrụ nke sistemụ nnyefe wafer na-ejikọta moto linear na ntọala granite, uru pụrụ iche nke ihe granite bụ kpọmkwem koodu isi iji mepee nnyefe arụmọrụ dị elu.
;
Ntọala granite: Iwuli "ntọala siri ike na nkume" maka nnyefe kwụsiri ike
Granite, ebe ọ gaferela ọtụtụ narị nde afọ nke mmezi ala, nwere kristal mineral dị n'ime ya nke dị oke ma dịkwa otu. Njirimara eke a na-eme ka ọ bụrụ ihe ndabere zuru oke maka sistemụ mbufe wafer. N'ebe dị mgbagwoju anya nke ụlọ nhicha semiconductor, granite, nke nwere oke obere mmụba okpomọkụ (naanị 5-7 × 10⁻⁶/℃), nwere ike iguzogide okpomọkụ a na-enweta n'oge ọrụ akụrụngwa na mmetụta nke mgbanwe okpomọkụ gburugburu ebe obibi, na-ahụ na nha ntọala kwụsiri ike ma na-ezere mgbanwe ụzọ nnyefe nke mgbanwe okpomọkụ kpatara. Arụmọrụ ya dị egwu nke na-ebelata mkpọtụ nwere ike ịmịkọrọ mkpọtụ igwe nke a na-emepụta ngwa ngwa n'oge mmalite, mmechi na ọsọ nke moto ndị dị larịị, yana nnyonye anya mpụga nke ọrụ nke akụrụngwa ndị ọzọ na ogbako ahụ na-eweta, na-enye ikpo okwu kwụsiri ike nke nwere "efu shake" maka nnyefe wafer.
Ka ọ dị ugbu a, nkwụsi ike kemịkalụ nke granite na-eme ka o doo anya na ọ naghị emebi ma ọ bụ ghara ịcha nchara n'ebe a na-arụ ọrụ semiconductor ebe ihe ndị na-emepụta acid na alkali na-agbanwe agbanwe ma dịkwa mkpa maka ịdị ọcha dị elu, si otú a na-ezere mmetụta na izi ezi nke nnyefe n'ihi ịka nká ihe ma ọ bụ mmịpụta ihe na-emerụ emerụ. Njirimara elu dị nro ma dị oke njọ nwere ike ibelata nrapado uzuzu nke ọma, na-emezu ụkpụrụ siri ike nke enweghị uzuzu nke ụlọ dị ọcha ma na-ewepụ ihe egwu nke mmetọ wafer site na mgbọrọgwụ.
Mmetụta "mmekọrịta ọlaedo" nke moto linear na granite
Moto ndị a na-eji ígwè arụ ọrụ, nke nwere njirimara ha nke enweghị nkwụsịtụ nnyefe igwe, ọsọ ọsọ dị elu na ọsọ nzaghachi dị elu, nnyefe wafer nke nwere uru nke "ngwa ngwa, ziri ezi na kwụsiri ike". Ntọala granite na-enye ikpo okwu nkwado siri ike na nke a pụrụ ịtụkwasị obi maka ya. Ha abụọ na-arụkọ ọrụ ọnụ iji nweta mmụba na arụmọrụ. Mgbe moto ndị a na-eji ígwè arụ ọrụ na-agba ọsọ na okporo ụzọ ntọala granite, ike siri ike na nkwụsi ike nke ntọala ahụ na-eme ka nnyefe dị irè nke ike ịnya ụgbọala ahụ, na-ezere mfu ike ma ọ bụ nkwụsị nnyefe nke mgbanwe ntọala kpatara.
N'ihi ọchịchọ maka nhazi nanoscale, moto linear nwere ike nweta njikwa mbugharị dị n'okpuru micron. Njirimara nhazi dị elu nke ntọala granite (yana njehie dị larịị nke a na-achịkwa n'ime ±1μm) dabara nke ọma na njikwa ziri ezi nke moto linear, na-eme ka ọ dị mma na njehie nhazi n'oge nnyefe wafer erughị ±5μm. Ma ọ bụ ụgbọ elu dị elu n'etiti ngwa ọrụ dị iche iche ma ọ bụ ebe a na-adọba ụgbọala kpọmkwem maka nnyefe wafer, njikọta nke moto linear na ntọala granite nwere ike hụ na "efu dividence na zero jitter" na nnyefe wafer.
Nkwenye omume ụlọ ọrụ: Mmezi abụọ na arụmọrụ na ọnụego mkpụrụ
Mgbe emelitere sistemụ mbufe wafer ya, otu ụlọ ọrụ semiconductor kachasị elu n'ụwa niile nakweere ngwọta linear motor + granite base solution, nke mere ka arụmọrụ mbufe wafer dịkwuo mma site na 40%, belata ọnụego mmejọ dịka nkpọkọ na nkwụsị n'oge usoro mbufe site na 85%, ma melite ọnụego mmepụta nke chips site na 6%. N'azụ data ahụ bụ nkwa nke nkwụsi ike mbufe nke ntọala granite na mmetụta njikọ dị elu na nke ziri ezi nke moto linear, nke na-ebelata mfu na njehie na usoro mbufe wafer nke ukwuu.
Site na ihe onwunwe ruo na mmepụta ihe ziri ezi, site na uru arụmọrụ ruo na nkwenye bara uru, njikọta nke moto linear na ntọala granite akọwapụtala ụkpụrụ nke sistemụ mbufe wafer. N'ọdịnihu mgbe teknụzụ semiconductor na-aga n'ihu na usoro 3nm na 2nm, ihe granite ga-anọgide na-etinye mkpali siri ike na mmepe ụlọ ọrụ ahụ yana uru ha na-enweghị ike ịgbanwe.
Oge ozi: Mee-14-2025