N'akụkụ ole nke sistemụ mbufe wafer ka eji ihe granite eme ihe?

A na-eji ihe granite eme ihe nke ukwuu n'ụlọ ọrụ semiconductor n'ihi njirimara ha dị mma, dịka nkwụsi ike dị elu, obere mmụba okpomọkụ, na oke iguzogide nchara. Ihe ndị a na-eme ka granite bụrụ ihe zuru oke maka iwuli ihe ndị dị oke mma na sistemụ nnyefe wafer.

N'usoro mmepụta semiconductor, usoro nnyefe wafer na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ibufe wafer n'ofe usoro mmepụta dị iche iche. Nhazi na izi ezi bụ ihe dị mkpa maka sistemụ ndị a n'ihi na ọbụlagodi obere mgbanwe nwere ike itinye usoro ahụ dum n'ihe ize ndụ. Ya mere, a ga-eji ihe dị elu mee ihe ndị dị na sistemụ nnyefe wafer, granite na-emezukwa ihe ndị ahụ.

Ụfọdụ akụkụ nke usoro nnyefe wafer nke e ji ihe granite mee gụnyere:

1. Tebụl Agụụ Chuck

A na-eji tebụl chuck vacuum eme ihe maka ijide wafer ahụ n'oge usoro a, ọ ga-enwerịrị elu kwụsiri ike iji hụ na wafer ahụ emebighị. Granite bụ ihe dị mma maka ime tebụl a n'ihi na o nwere elu dị larịị, nke na-anaghị amị amị nke na-enye nkwụsi ike na nkenke dị elu. Na mgbakwunye, granite nwere obere coefficient nke mgbasawanye okpomọkụ, na-eme ka ọ ghara iguzogide mgbanwe okpomọkụ nke nwere ike ibute mgbanwe nha na wafer ahụ.

2. Ọkwa Ibu Ikuku

A na-eji usoro ihe eji ebu ikuku ebufe wafer ahụ n'ime usoro dị iche iche nke usoro mmepụta. A na-emepụta usoro ihe a iji nye mmegharị na-enweghị esemokwu, nke chọrọ ezigbo nkenke na nkwụsi ike. A na-eji granite eme ihe n'ọrụ a n'ihi na ọ bụ nkume siri ike ma sie ike, ọ na-eguzogidekwa mgbanwe na mmebi ka oge na-aga.

3. Nduzi mmegharị ahịrị

A na-eji ntuziaka mmegharị ahịrị eduzi ogbo ikuku, a ghaghịkwa itinye ha n'ọnọdụ ziri ezi iji belata mmejọ. A na-eji granite arụ ntuziaka a n'ihi na ọ nwere ezigbo nkwụsi ike na ike igwe. Ihe a na-eguzogidekwa nchara, nke na-eme ka usoro nduzi dị ogologo.

4. Ngwa Metrology

A na-eji ngwa Metrology atụ nha na ihe ndị dị na wafer ahụ n'oge a na-emepụta ya. Granite bụ ihe kacha mma maka iwuli ngwa a n'ihi na ọ nwere ike siri ike, obere mgbasawanye, na obere mgbanwe n'okpuru ibu. Ọzọkwa, nkwụsi ike okpomọkụ nke granite na-eme ka ngwa metrology ahụ guzosie ike ma zie ezi ka oge na-aga.

Na mmechi, ụlọ ọrụ semiconductor na-adabere na nkenke na izi ezi, ihe ndị e ji granite mee egosila na ha nwere ntụkwasị obi ma kwụsie ike n'usoro mmepụta. Ebe ọ bụ na ọtụtụ ihe dị mkpa dị na sistemụ mbufe wafer chọrọ nkwụsi ike dị elu, nkenke, na obere mgbasawanye okpomọkụ, ndị injinia atụgharịala gaa na ihe ndị e ji granite mee iji mezuo ihe ndị a dị mkpa.