N'ọrụ ndị dị elu dịka mmepụta semiconductor na njikọta ngwa anya, ịchụso izi ezi nke nhazi ọkwa sub-micron ma ọ bụ ọbụna nanometer site na tebụl ọrụ nhazi ọtụtụ-axis enweghị njedebe. Granite dị elu (nwere njupụta nke ≥3100kg/m³) na-aghọ ihe dị mkpa maka ime ka arụmọrụ nke oche ọrụ dịkwuo mma n'ihi ihe pụrụ iche ya. Ihe na-esonụ bụ nyocha nke uru ya na-enweghị ike ịgbanwe site na akụkụ anọ dị mkpa.
1. Nkwụsi ike pụrụ iche: "ihe mgbochi ebumpụta ụwa" iji gbochie nnyonye anya mkpọtụ
Mgbe tebụl ọrụ multi-axis dị n'ọsọ dị elu (nwere ọsọ kwụ ọtọ karịrị 500mm/s) ma ọ bụ na njikọ multi-axis, mkpọtụ mgbagwoju anya na-adịkarị mfe ime. Mkpụrụ mineral dị n'ime nke granite dị elu jikọtara ọnụ nke ọma, yana ugboro eke dị ala dị ka 10-20Hz, ma nwee ike ịmịkọrọ ihe karịrị 90% nke ike mpụta nke mpụta. Na usoro nkwakọ ngwaahịa semiconductor chip, ọ nwere ike ijikwa njehie mbugharị workbench n'ime ±0.5μm, na-ezere mmebi waya ma ọ bụ mgbawa nke mkpọtụ kpatara. Ma e jiri ya tụnyere ihe eji eme ihe ígwè ọdịnala, ọnụego mwepu nke granite dị okpukpu atọ ngwa ngwa, na-eme ka nhazi ahụ dịkwuo mma nke ukwuu.
2. Ịkwụsi ike na okpomọkụ: "Akpịsị "Na-eme ka okpomọkụ sie ike" megide mgbanwe okpomọkụ
N'ebe nhazi ziri ezi, mgbanwe okpomọkụ nke 0.1℃ nwere ike ibute mgbanwe ihe nke 0.1μm/m. Ọnụọgụ nke mgbasawanye okpomọkụ nke granite dị elu bụ naanị (4-8) ×10⁻⁶/℃, nke bụ ihe dị ka 1/6 nke alloy aluminom. N'ọnọdụ dị oke nkenke dịka igwekota lenzi anya, ọbụlagodi na okpomọkụ ụlọ ọrụ na-agbanwe site na ±2℃, ntọala granite ka nwere ike ịnọgide na-enwe izi ezi nke ọnọdụ micron nke ihe ndị dị mkpa nke oche ọrụ, na-ahụ na njehie mgbagọ lenzi erughị 0.01D, gafere ọkọlọtọ ụlọ ọrụ.
3. Nkwụsi ike dị oke elu: "Nkume Ntọala Siri Ike" maka ibu ibu dị arọ
A na-ejikarị ihe ndị dị arọ dịka isi laser na usoro nyocha (nwere ibu otu axis karịrị 200kg). Ike nrụgide nke granite dị elu bụ ≥200MPa, ọ nwekwara ike iguzogide ibu otu ihe karịrị 1000kg/m² na-enweghị mgbanwe na-adịgide adịgide. Mgbe otu ụlọ ọrụ ụgbọelu nabatara ihe a, mgbe tebụl ọrụ ya nke axis ise buru ibu nhazi nke 500kg, njehie Z-axis verticality mụbara naanị 0.3μm, nke na-eme ka nhazi ahụ doo anya nke ọma nke elu ndị gbagọrọ agbagọ dị mgbagwoju anya.
4. Ogologo oge na-adịgide adịgide: Belata ọnụ ahịa okirikiri ndụ niile
Ike siri ike nke granite Mohs ruru 6 ruo 7, ike ya karịrị nke ígwè nkịtị. N'ime usoro mmepụta ngwaahịa 3C nke na-arụ ọrụ ruo awa 16 kwa ụbọchị, ntọala granite nwere ike ịrụ ọrụ na-enweghị mmezi ruo afọ 8 ruo 10, ebe ntọala ígwè a kpụrụ akpụ na-egosi mmebi na elu kọntaktị okporo ígwè nduzi (omimi > 5μm) mgbe afọ 3 gasịrị. Na mgbakwunye, enweghị ike kemịkalụ ya na-eme ka ọ nwee ike ịnọgide na-enwe oke Ra≤0.2μm na gburugburu acidic na alkaline, na-enye ntụaka nrụnye kwụsiri ike maka ihe ndị dị ka grating rulers na linear motors.
Mmechi: Granite dị elu - "Onye mmeri zoro ezo" nke Mmepụta nkenke
Site na nhazi nanoscale ruo nhazi ọrụ siri ike, granite dị elu na-agbanwe ụkpụrụ teknụzụ nke tebụl nhazi ọtụtụ axis na arụmọrụ zuru oke ya na-enweghị atụ. Maka ụlọ ọrụ ndị na-agbaso nhazi na ntụkwasị obi kachasị elu, ịhọrọ ntọala granite dị elu (dịka ngwaahịa ZHHIMG® nke sistemụ atọ ISO kwadoro) abụghị naanị nkwa maka mmepụta ugbu a kamakwa itinye ego atụmatụ na mmelite usoro n'ọdịnihu.
Oge ozi: Jun-09-2025