Ihe mejupụtara iko ziri ezi na sistemụ anya: Ngwa na ihe ịma aka mmepụta

Iko anya bụ isi ihe dị mkpa maka fotonik ọgbara ọhụrụ. Site na nkwukọrịta ruo na nchekwa, ihe achọrọ maka ihe ndị a na-aghọwanye ihe siri ike.

N'ime sistemụ laser nwere ike dị elu, ihe ndị dị n'ime anya ga-eguzogide oke njupụta ike. Nrụpụta ma ọ bụ adịghị ọcha ọ bụla dị na iko nwere ike ibute mmebi site na laser, na-emebi sistemụ ahụ dum. Ihe a na-elekwasị anya na mmepụta ebe a bụ iwepụ mmebi dị n'okpuru ala na ijide n'aka na ha nwere otu nha iji gbochie mgbanwe nke ìhè.

Ka igwe onyonyo mbara igwe na ngwa nchọpụta anya na-eto n'ogo oghere (ugbu a gafere mita 4), ihe achọrọ maka ịdị mfe na izi ezi nke elu na-esiwanye ike. Ihe ndị dị na anya maka oghere ga-anọgide na-enwe ọdịdị ha n'ebe okpomọkụ dị oke njọ, na-achọ ihe ndị nwere oke mgbasa okpomọkụ dị ala.

N'ime ụlọ ọrụ semiconductor, sistemụ lithography EUV na-adabere na enyo na-egosipụta ìhè nke nwere oke ike dị n'elu nke na-erughị 0.1 nm (RMS). Ọbụna ntụpọ ọkwa atọm nwere ike ịgbasa ìhè ma mebie mkpebi nke mgbawa. Nke a na-anọchite anya oke mmepụta iko anya.

Ihe Ịma Aka Mmepụta: Nrụgide, Ịdị larịị, na Ịdị ire ụtọ

1. Ịchịkwa Nrụgide Dị n'Ime

• Ihe Ịma Aka: Ịrụ ọrụ iko siri ike ma gbajie agbaji na-akpata nrụgide dị nta.
• Ụzọ Anyị Si Eme Ihe: Anyị na-eji usoro annealing dị elu na usoro nhazi obere mmebi. Site n'ịchịkwa oke ọsọ oyi na iji usoro nhazi nrụgide, anyị na-ahụ na nhazi dị n'ime iko ahụ nọgidere na-anọpụ iche ma kwụsie ike.

2. Inweta Ogologo Dị Elu (Izi ezi nke Ugboro Dị Ala)

• Ihe Ịma Aka: Ịkpụcha ihe n'ụzọ ọdịnala nwere ike ime ka ọ ghara ịdị nro ma ọ bụ mebie ihe ndị na-emebi izi ezi nke ihu ebili mmiri.
• Ụzọ Anyị Si Eme Ihe: Anyị na-eji elu ihuenyo kọmputa (CCOS) nke ziri ezi. Nke a na-enye anyị ohere idozi njehie ugboro ole na ole (nhazi ọdịdị) iji nweta ụkpụrụ kacha elu ruo na ndagwurugwu (PV) nke na-erughị 1 nm, na-eme ka ụzọ ahụ dị n'otu nke ọma.

3. Nchacha Elu (Ịdị nro nke ugboro ugboro)

• Ihe Ịma Aka: Iwepụ "mmiri" na obere ihe ndị na-eme ka a gwerie ha chọrọ ịgbanwe site na iwepụ ihe gaa na ime ka elu dị nro.
• Ụzọ Anyị Si Eme Ihe: Anyị na-eji teknụzụ polishing dị elu, gụnyere imecha ihe site na magnet. Usoro a na-enye ohere maka nhazi nke ụdị dị mgbagwoju anya (dị ka lensị freeform) ebe anyị na-enweta oke elu sub-nanometer (Ra < 0.6 nm) na-ewetaghị mmebi ọhụrụ n'okpuru ala.

ZHHIMG: Onye Mmekọ Gị na Ultra-Precision

• Usoro ihe dị mgbagwoju anya: Nhazi nke ihe ndị dị n'ime oghere, aspheric, na planar.
• Usoro na Nnyocha: Iji interferometers na profilometers chọpụta ịdị mma elu na izi ezi n'oge.
• Ọkachamara n'ihe gbasara ihe: Ahụmịhe miri emi na silica a gwakọtara agwakọta, quartz, na iko anya pụrụ iche nke a maara maka nnyefe dị elu na mgbasawanye dị ala.