Otu Akụrụngwa Ụlọ Ọrụ Si Ekpebi Izizi Geometric na Micro-Machining

Mmepụta nke ihe owuwu dị oke nkenke chọrọ ihe karịrị igwe CNC dị elu. Na-enweghị ikewapụ onwe ya nke ọma site na mkpọtụ gburugburu ebe obibi na nke ụlọ ọrụ mmepụta ihe, inweta nnabata geometric sub-micron agaghị ekwe omume. Ụgbọala ọ bụla na-agafe agafe, kreen dị nso, na compressor njikwa ihu igwe na-ewebata ebili mmiri micro-seismic nke nwere ike imebi mkpọchi na nhazi nke ntọala granite ziri ezi, bearings ikuku, na akụkụ seramiiki.

Iji belata nke a, ụlọ ọrụ mmepụta ihe ga-ewere ala mmepụta ihe dị ka akụkụ ejikọtara ọnụ nke sistemụ metrology.

Usoro ihe ọmụma nke ntọala siri ike

Ala simenti ụlọ ọrụ nkịtị na-adịkarị n'etiti mm 150 ruo mm 300. Ọ bụ ezie na ha zuru oke maka nhazi ọkọlọtọ na njikọta dị arọ, ha ezughị oke maka nrụpụta ọkwa nanometer. N'okpuru ibu dị ike, ala ọkọlọtọ na-arụ ọrụ dị ka diaphragm, na-ebufe mkpọtụ ala na-adịghị ala ugboro ugboro ozugbo n'ime ihe ndị a na-arụ ọrụ.

 

Iji kpochapụ njehie a, gburugburu mmepụta dị elu na-eme atụmatụ akụrụngwa dị iche iche:

1. Ntọala Ndị Agha Dị Oke Oke: Ịwụsa simenti e siri ike ruo omimi kacha nta nke 1000 mm na-enye nnukwu ngọngọ inertial. Oke a na-ebelata ebili mmiri dị ala (1-10 Hz) tupu ha erute igwe ahụ.

2. Ọgbawa Mwepụ nke Perimeta: Ịkpụ olulu ndị e ji aka ha kpaa maka ịma jijiji gburugburu mpaghara mmepụta—nke nwere nha ziri ezi dịka obosara 500 mm na omimi 2000 mm—na-eme ka mpaghara mmepụta ahụ dị mma site na ebe ndị ọzọ dị n'ebe ahụ. E juputara olulu ndị a na ihe pụrụ iche na-amịkọrọ ike iji belata oke mkpọtụ n'akụkụ.

3. Nkwụsị Igwe na Nkwụsị Igwe: Kreen ndị dị n'elu na ihe ndị na-ebuli elu bụ isi ihe na-akpata mkpọtụ na mkpọtụ nhazi dị ala. Iji sistemụ njem dị n'elu nke nwere mkpuchi acoustic, nke na-agba ọsọ nwayọ na-egbochi ebili mmiri nrụgide acoustic imebi ọkwa eletrọniki dị nro na interferometers laser n'oge usoro nha.

Mmekọrịta Gburugburu Ebe Obibi: Okpomọkụ na Iru Mmiri

Mgbasawanye okpomọkụ bụ ihe kachasị na-akpata njehie geometric nagranite nkenkena imepụta seramiiki. Mgbanwe okpomọkụ nke naanị 0.5 ℃ nwere ike ime ka akwa granite 5000 mm gbanwee karịa ihe a na-anabata.

Iji nweta izi ezi na-adịgide adịgide, gburugburu nhazi na mgbakọ ga-agbaso ụkpụrụ siri ike:

• Mkpuchi Gburugburu Ebe Obibi Nile: Mmepụta ihe kwesịrị ime n'ime nnukwu ụlọ nhicha dị iche iche (dịka ọmụmaatụ, 10,000㎡) ebe a na-akpọchi okpomọkụ na 20℃ ± 0.2℃ na a na-achịkwa iru mmiri nke ọma.

• Njikwa Ọsọ Ikuku: A ga-emerịrị usoro ikuku Laminar iji zere ikuku ọsọ ọsọ kpọmkwem na elu granite, na-egbochi mgbanwe okpomọkụ mpaghara.

• Nnwale Imepụta Ụlọ Nhicha Semiconductor: Nchikota ikpeazụ nke ọtụtụ granite gantries, usoro moto linear, na ultra-precision ikuku chọrọ gburugburu pụrụ iche, nke na-enweghị uzuzu nke na-eṅomi ihe mmepụta semiconductor nke onye ọrụ ikpeazụ. Nke a na-eme ka o doo anya na ọ dịghị mmetọ ihe na-egbochi oghere ndị na-ebu ikuku, nke na-abụkarị n'etiti 5μm na 15μm.

Nchịkọta

Mmepụta ihe dị oke mma enweghị ike ịdị na gburugburu ụlọ ọrụ mmepụta ihe a na-ahụkarị. Ịkwụsi ike nke ala ụlọ ọrụ mmepụta ihe, ikewapụ ntọala, na njikwa zuru oke nke thermodynamics cleanroom na-abụ ntọala nke ikike metrology. Itinye ego na nnukwu ntọala inertial na ikewapụ gburugburu bụ naanị ụzọ a nwapụtara iji hụ na mmepụta sub-micron ka kwụsiri ike, a pụrụ imeghachi ya, ma chọpụta ya.