Sistemụ mmegharị nke dị oke nkenke dị mkpa maka mmepụta teknụzụ dị elu nke oge a, ọkachasị na semiconductor lithography, nyocha wafer, nhazi anya, na metrology nha nanometer. Isi ihe dị na sistemụ ndị a bụ ihe ịma aka injinia dị oke mkpa: ime mmegharị dị nro, enweghị esemokwu, na nke a na-emegharị nke ukwuu na-enweghị njehie nke kọntaktị mekaniki kpatara.

Teknụzụ ikuku, mgbe ejikọtara ya na nkwụsi ike dị eluỌdịdị granite, na-enye otu n'ime ngwọta kachasị elu maka ihe ịma aka a. Sistemụ ikuku granite na-eji ihe mkpuchi dị gịrịgịrị nke ikuku a na-agbanye nrụgide dochie mmegharị esemokwu dị nso na efu na izi ezi nke geometric pụrụ iche.

N'ebe nrụpụta dị elu, ụlọ ọrụ dịka ZHHIMG na-ejikọta ntọala granite dị elu na ihe ndị e ji ikuku rụọ nke ọma iji nweta sistemụ mmegharị nke nwere ike ijikwa ọnọdụ dị n'okpuru micron na ọbụna na-achịkwa ọkwa nanometer.

1. Ụkpụrụ Dị Mkpa nke Teknụzụ Ibu Ikuku

Bearings ikuku na-arụ ọrụ na ụkpụrụ nkewa mmiri mmiri. Kama ikwe ka elu siri ike abụọ metụ aka, a na-etinye oyi akwa a na-achịkwa nke ikuku nwere nrụgide n'etiti ha.

1.1 Nhazi nke ihe nkiri ikuku

Sistemụ ikuku nkịtị nwere:

• Ntọala granite na-adịghị eguzo
• Ụgbọala ma ọ bụ ogbo na-agagharị
• Igwe ikuku dị nkọ ma ọ bụ mgbasa ozi porous
• Sistemụ ọkọnọ ikuku a na-achịkwa

A na-eji obere oghere ma ọ bụ ihe seramiiki nwere oghere ewebata ikuku a na-eme ka ọ dị nro, nke na-etolite ihe dị ka maịkromita 2 ruo 20 n'ọkpụrụkpụ.

Ihe nkiri ikuku a na-akwado ibu ahụ ma na-ewepụ kọntaktị igwe kpọmkwem.

1.2 Ngwaọrụ kọntaktị efu

N'adịghị ka bearing bọọlụ ma ọ bụ ntuziaka ahịrị, bearing ikuku na-arụ ọrụ n'usoro ebe:

• Ihe nhazi esemokwu na-abịaru efu
• A na-ewepụ iyi n'echiche
• Mmegharị mmịpụta osisi adịghị

Nke a na-eme ka bearing ikuku dị mma maka sistemụ nhazi nke ọma ebe a naghị anabata hysteresis mekaniki.

1.3 Omume Mmiri Laminar

Arụmọrụ nke bearings ikuku dabere nke ukwuu na nkwụsi ike nke laminar.

• Mgbanwe nrụgide
• Enweghị ọnọdụ kwụsiri ike
• Mmụba mkpọtụ na sistemụ nha

Ya mere, nhazi ikuku nke ọma chọrọ nhazi nke usoro mmiri mmiri (CFD) iji hụ na nkesa mmiri kwụsiri ike n'elu elu ihe na-ebu ibu.

2. Ọrụ nke granite na Sistemụ Ibu Ikuku

Granite abụghị naanị ihe nkwado ihe owuwu; ọ bụ akụkụ ọrụ nke sistemụ mmegharị ahụ.

2.1 Ịkwụsi Ike n'ihe owuwu

Granite ojii dị elu na-enye:

• Nhazi dị elu nke nkwụsi ike
• Iguzosi ike n'ezi ihe nke akụkụ ogologo oge
• Iguzogide mgbanwe n'okpuru ibu

Ihe ndị a dị oke mkpa n'ihi na ihe ndị na-agba ikuku na-adabere n'ịnọgide na-enwe ogologo oghere dị otu n'elu elu njem niile.

2.2 Nkwụsi Ike na Njikwa Ndọpụ Ọkụ

Ndagharị okpomọkụ bụ otu n'ime isi mmalite njehie kachasị na sistemụ mmegharị ziri ezi.

Granite nwere:

• Ọnụọgụ mgbasawanye okpomọkụ dị ala (~4–7 × 10⁻⁶ /°C)
• Oke okpomọkụ na-adịghị ike
• Mgbasa nke okpomọkụ nwayọ nwayọ

Nke a na-ebelata:

• Ndahie nke usoro n'ihi okpomọkụ na-adịghị mma
• Ndagharị axis Z na nha ogologo oge
• Njehie nhazi na sistemụ anya

2.3 Ndapụ nke ịma jijiji

Ndapụ nke granite sitere n'okike na-ebelata mbufe mkpọtụ ugboro ugboro site na isi mmalite mpụga dịka:

• Mma jijiji ala
• Ngwa igwe dị nso
• Sistemụ njikwa ikuku

Nke a dị mkpa maka ịnọgide na-enwe nkwụsi ike n'ọnọdụ na ngwa nanometer.

3. Nhazi Sistemụ nke Ikuku Granite Bearing Platforms

Sistemụ ikuku granite a na-ahụkarị na-ejikọta sistemụ igwe, nke ikuku na-ebugharị, na nke njikwa.

3.1 Nhazi Mekaniki

Isi ihe dị mkpa:

• Ikpo okwu ntọala granite
• Ihe nkedo mmegharị ala nke ọma
• Ihe mkpuchi ikuku (ụdị seramiiki ma ọ bụ oghere oghere)
• Mgbakọ ogbo na-agagharị

A na-achịkwa ịdị larịị nke ntọala granite ruo ọkwa micron ma ọ bụ sub-micron dabere na klaasị ojiji.

3.2 Sistemụ Njikwa Pneumatic

Sistemụ ọkọnọ ikuku gụnyere:

• Igwe Compressor ikuku dị elu
• Ndị na-achịkwa nkenke
• Ihe mgbochi mmiri
• Ngalaba nzacha (iwepụ mmanụ, mmiri mmiri, ihe ndị na-adịghị mkpa)

Ọbụna obere mmetọ nwere ike imetụta nkwụsi ike nke ukwuu nke ihe ndị na-ebu ibu.

3.3 Nzaghachi na Sistemụ Njikwa

Sistemụ dị elu na-ejikọta ọnụ:

• Ihe ndị na-eme ka laser dị n'etiti ndị mmadụ
• Ndị na-ede koodu ahịrị kwụ ọtọ
• Ihe mmetụta mgbanwe ike

Sistemụ ndị a na-enye ohere ijikwa mmegharị mechiri emechi site na mkpebi nha nanometer.

4. Usoro na arụmọrụ nkenke

A na-enyocha sistemụ ikuku na-ebu ibu dabere na ọtụtụ paramita metrology dị mkpa.

4.1 Ịkwụ ọtọ na ịdị larịị

Njehie ịkwụ ọtọ na-abụkarị site na:

• Ngbanwe nke isi granite
• Mgbanwe ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri ikuku
• Enweghị nha nha nkesa ibu

Sistemụ arụmọrụ dị elu nwere ike ịrụ ọrụ dị ka ndị a:

• Nkwụsi ike nke sub-micron karịa njem nha mita
• Mmeghachi ọkwa Nanometer na gburugburu ebe a na-achịkwa

4.2 Izizi Ọnọdụ

Izi ezi nke ọnọdụ dabere na:

• Mkpebi ihe e dere ede
• Nkwụsi ike nke akaụntị njikwa
• Ike ihe nkiri ikuku

N'adịghị ka sistemụ igwe, bearing ikuku na-ewepụ ihe ndọghachi azụ kpamkpam.

4.3 Ike siri ike

Ike siri ike na-akọwa otu sistemụ si emeghachi omume na ike mpụga.

Ihe ngosi nke bearing ikuku:

• Nnukwu ike na obere ugboro ugboro
• Mbelata ike n'oge ugboro dị elu n'ihi mkpakọ ikuku

A na-ejikwa mgbanwe a site na nhazi sistemụ na nhazi mbubata tupu ebuga.

5. Ngwa Ụlọ Ọrụ

A na-eji usoro granite eme ihe nke ọma n'ọrụ mmepụta ihe dị elu.

5.1 Ụlọ ọrụ Semiconductor

Ngwa ndị a gụnyere:

• Nkebi nyocha Wafer
• Sistemụ nhazi Lithography
• Ọnọdụ ihe mkpuchi foto

Sistemụ ndị a chọrọ mmegharị ọkwa nanometer.

5.2 Nkọwapụta Ihe Ndị Dị Mkpa

Ejiri na:

• Sistemụ nhazi lenzi
• Ọnọdụ oghere laser
• Ntọala nha interferometric

5.3 Usoro Nhazi

A na-eji ikpo okwu granite na-ebu ikuku eme ihe n'ime:

• Sistemụ CMM dị elu
• Igwe nha nhazi ngwa anya
• Sistemụ nyocha ọtụtụ sensọ

5.4 Mmepụta Kachasị Elu

Gụnyere:

• Sistemụ igwe na-arụ ọrụ obere
• Nyiwe nhazi laser Femtosecond
• Sistemụ nhazi nrụpụta mgbakwunye

6. Ihe ịma aka nke njikọta ihe onwunwe

Nhazi sistemụ granite nke na-ebu ikuku gụnyere ọtụtụ mgbanwe na injinia.

6.1 Ihe achọrọ maka ịdị larịị elu

Bearing ikuku chọrọ nkesa oghere ikuku dị otu. Ngbanwe ọ bụla na nha granite na-emetụta ozugbo:

• Nkesa ibu
• Ịdị nro nke mmegharị
• Izi ezi ọnọdụ

6.2 Mmetụta nke Ikuku

Arụmọrụ sistemụ na-emetụta:

• Nkwụsi ike nke nrụgide
• Nha nhata nke usoro mmiri
• Ọkwa mmetọ

Ọbụna obere ihe ndị dị na micron nwere ike imebi usoro ikuku.

6.3 Njikọta Okpomọkụ na Mechanical

A ga-eji nlezianya jikọta mgbasawanye okpomọkụ nke granite na ihe owuwu iji gbochie:

• Ntugharị nke usoro
• Ndagharị nke axis Z
• Mgbagọ nke Jiọmetrịk

7. Usoro Mmepụta na Nhazi

Sistemụ ikuku granite dị elu chọrọ gburugburu nrụpụta a na-achịkwa.

Usoro nhazi nkịtị gụnyere:

1. Ịrụ ọrụ granite siri ike
2. Usoro nkwụsi ike okpomọkụ
3. Ịkpụcha na ịkụcha ihe nke ọma
4. Njikọ ikuku na-agba
5. Nkwenye nke usoro iheomume
6. Nhazi nhazi laser

Ndị nrụpụta dị elu dịka ZHHIMG na-arụ ọrụ gburugburu ebe a na-achịkwa nke nwere nkwụsi ike okpomọkụ dịka ±1°C iji hụ na a na-emegharị usoro geometric.

8. Uru Karịrị Sistemụ Bearing Mechanical

Bearing ikuku na-ewepụ ọtụtụ ihe mgbochi dị mkpa nke sistemụ igwe.

Mmechi

Sistemụ ikuku granite na-anọchite anya otu n'ime ngwọta kachasị elu maka njikwa mmegharị nke ọma na mmepụta ọgbara ọhụrụ. Site na ijikọta nkwụsi ike nhazi nke granite dị elu na njirimara enweghị esemokwu nke kewapụ ihe nkiri ikuku, sistemụ ndị a na-enweta ọkwa pụrụ iche nke izi ezi, imeghachi ihe, na iguzosi ike n'ezi ihe ogologo oge.

Ka ụlọ ọrụ injinia semiconductor na nkenke na-aga n'ihu na-aga n'ihu na-enweta nanometer na ọbụna nnabata sub-nanometer, ikpo okwu ikuku granite ga-anọgide na-enye teknụzụ dị mkpa maka usoro metrology na mmepụta ọgbọ na-abịa.