Isi igwe granite ọ ga-agbasa n'ihi okpomọkụ n'oge nyocha wafer?

N'ime njikọ dị mkpa nke imepụta chip - nyocha wafer, izi ezi nke akụrụngwa na-ekpebi ịdị mma nke chip ahụ. Dịka akụkụ dị mkpa nke akụrụngwa ahụ, nsogbu mgbasa okpomọkụ nke ntọala igwe granite adọtala ọtụtụ uche.

Ọnụọgụ nke mgbasawanye okpomọkụ nke granite na-adịkarị n'etiti 4 na 8 × 10⁻⁶/℃, nke dị ala karịa nke ọla na mabụl. Nke a pụtara na mgbe okpomọkụ gbanwere, nha ya na-agbanwe obere. Agbanyeghị, ekwesịrị ịmara na obere mgbasawanye okpomọkụ apụtaghị na enweghị mgbasawanye okpomọkụ. N'okpuru nnukwu mgbanwe okpomọkụ, ọbụlagodi obere mgbasawanye nwere ike imetụta izi ezi nke nyocha wafer nanoscale.

N'oge usoro nyocha wafer, e nwere ọtụtụ ihe kpatara mmụba okpomọkụ. Mgbanwe okpomọkụ na ebe a na-arụ ọrụ, okpomọkụ nke ihe ndị e ji arụ ọrụ nke akụrụngwa na-emepụta, na oke okpomọkụ ozugbo nke nhazi laser na-eweta ga-eme ka ntọala granite "gbasaa ma gbawaa n'ihi mgbanwe okpomọkụ". Ozugbo ntọala ahụ gafere mgbasa okpomọkụ, ịdị larịị nke okporo ụzọ nduzi na ịdị larịị nke ikpo okwu ahụ nwere ike ịgbanwe, na-ebute ụzọ mmegharị na-ezighi ezi nke tebụl wafer. Akụkụ anya ndị na-akwado ya ga-agbanwekwa, na-eme ka ogwe nyocha "gbawaa". Ịrụ ọrụ mgbe niile ruo ogologo oge ga-emekwa ka njehie na-achịkọta, na-eme ka izi ezi ka njọ ma ka njọ.

Mana echegbula onwe gị. Ndị mmadụ enweelarị ihe ngwọta. Banyere ihe ndị e ji arụ ọrụ, a ga-ahọrọ akwara granite nwere obere ihe na-agbasa okpomọkụ ma nye ha ọgwụgwọ ịka nká. Banyere njikwa okpomọkụ, a na-achịkwa okpomọkụ ụlọ ọrụ ahụ nke ọma na 23±0.5℃ ma ọ bụ ọbụna dị ala, a ga-emekwa ngwaọrụ mwepụ okpomọkụ na-arụ ọrụ maka ntọala ahụ. Banyere imewe ihe owuwu, a na-anabata ihe owuwu symmetrical na nkwado ndị na-agbanwe agbanwe, a na-emekwa nlekota oge n'ezie site na ihe mmetụta okpomọkụ. A na-eji algọridim edozi njehie ndị sitere na mgbanwe okpomọkụ.

Ngwa dị elu dịka igwe ASML lithography, site na usoro ndị a, na-eme ka mmetụta mgbasawanye okpomọkụ nke ntọala granite dị obere, na-eme ka izi ezi nke nyocha wafer ruo ọkwa nanometer. Ya mere, ọ bụrụhaala na ejiri ya nke ọma chịkwaa ya, ntọala granite ka bụ nhọrọ a pụrụ ịdabere na ya maka ngwa nyocha wafer.