Ebe igwe granite ga-agbasa n'ihi okpomọkụ n'oge nyocha wafer?

Na isi njikọ nke mgbawa n'ichepụta - wafer scanning, izi ezi nke ngwá na-ekpebi àgwà nke mgbawa. Dị ka akụkụ dị mkpa nke akụrụngwa, nsogbu mgbasawanye ọkụ nke isi igwe granite adọtawo nlebara anya dị ukwuu.

Ọnụ ọgụgụ nke mgbasawanye ọkụ nke granite na-abụkarị n'etiti 4 na 8 × 10⁻⁶ / ℃, nke dị ala karịa nke ọla na mabul. Nke a pụtara na mgbe okpomọkụ na-agbanwe, nha ya na-agbanwe ntakịrị. Otú ọ dị, ekwesịrị iburu n'obi na mgbasawanye ọkụ dị ala apụtaghị na ọ dịghị mgbasawanye ọkụ. N'okpuru oke mgbanwe okpomọkụ, ọbụlagodi mgbasawanye ntakịrị nwere ike imetụta izi ezi nanoscale nke nyocha wafer.

N'oge usoro nyocha wafer, enwere ọtụtụ ihe kpatara mmụba nke okpomọkụ. Mgbanwe nke okpomọkụ na ogbako ahụ, okpomọkụ na-emepụta site na arụ ọrụ nke akụrụngwa akụrụngwa, na ngwa ngwa dị elu na-ebute site na nhazi laser ga-eme ka ntọala granite "gbasawanye na nkwekọrịta n'ihi mgbanwe okpomọkụ". Ozugbo ntọala ahụ na-enweta mgbasawanye ọkụ, nkwụsịtụ nke okporo ụzọ nduzi na nkwụsị nke ikpo okwu nwere ike ịpụ apụ, na-ebute ụzọ mmegharị na-ezighị ezi nke tebụl wafer. Ngwa ngwa anya na-akwado ga-agbanwekwa, na-eme ka oghere nyocha ahụ "gbanwee". Ịrụ ọrụ na-aga n'ihu ruo ogologo oge ga-akwakọbakwa njehie, na-eme ka izi ezi dịkwuo njọ ma dị njọ.

Ma echegbula. Ndị mmadụ enweelarị ihe ngwọta. N'ihe gbasara ihe, a ga-ahọrọ veins granite nwere obere ọnụọgụ nke mgbasawanye ọkụ ma tinye ya na ọgwụgwọ ịka nká. N'ihe gbasara njikwa okpomọkụ, a na-achịkwa okpomọkụ nke ogbako ahụ na 23 ± 0.5 ℃ ma ọ bụ ọbụna dị ala, a ga-emepụtakwa ngwaọrụ ikpo ọkụ ọkụ na-arụ ọrụ maka isi. N'ihe gbasara nhazi nhazi, a na-anakwere ihe owuwu symmetrical na nkwado ndị na-agbanwe agbanwe, a na-eme nleba anya oge site na ihe mmetụta okpomọkụ. A na-agbazi mperi mperi ndị nrụrụ okpomọkụ kpatara site na algọridim.

Akụrụngwa dị elu dị ka igwe lithography ASML, site na ụzọ ndị a, na-edobe mmetụta mgbasawanye ọkụ nke isi granite n'ime obere oke, na-enye ohere nyocha nke wafer iji ruo ọkwa nanometer. Ya mere, ọ bụrụhaala na a na-achịkwa ya nke ọma, ntọala granite na-anọgide na-abụ nhọrọ a pụrụ ịdabere na ya maka ngwa nyocha wafer.