N'ụwa mmepụta semiconductor dị oke mkpa, ebe a na-atụ nha atụmatụ na nanomita, ntọala nke igwe ahụ dị oke mkpa dịka optics ma ọ bụ sistemu vacuum. Ma ọ bụ igwe nyocha wafer ma ọ bụ sistemu lithography miri emi (DUV), OEM zuru ụwa ọnụ na-akọwapụta granite ojii eke maka ntọala nhazi ha.
Mana gịnị mere e ji eji ihe ndị e ji emepụta ihe eme ihe n'ụzọ dị mma akọwa nkume okike dị ka ihe ọlaedo n'ụlọ ọrụ? Lee ihe ise mere e ji eji granite eke eme ihe n'ụzọ dị mfe maka ngwaọrụ semiconductor.
1. Ike zuru oke na Fab
Gburugburu "Front-End" nke semiconductor chọrọ nguzozi zuru oke nke nha. Ọbụna obere akụkụ nke ogo na mgbanwe okpomọkụ nwere ike ime ka ihe owuwu ígwè gbasaa, na-eduga na njehie ma ọ bụ "ịchafụ" na lithography.
Granite eke nwere obere Coefficient nke Mgbasawanye Okpomọkụ (CTE). Mgbe a na-atụnyere yantọala graniteMaka igwe nyocha wafer gaa na igwe ọzọ nke ígwè ma ọ bụ aluminom, granite ahụ ka "kpọnwụrụ akpọnwụ" n'agbanyeghị obere mgbanwe gburugburu ebe obibi. Enweghị ike ọkụ a na-eme ka ụzọ anya ahụ dịgide site na wafer mbụ nke mgbanwe ahụ gaa na nke ikpeazụ.
2. Ndapụ Mkpọchi Pụrụ Iche maka Nkọcha Nanometer
Ngwa lithography na ngwaọrụ metrology dị elu anaghị enwe mmetụta dị ukwuu na "mkpọtụ" - mkpọtụ sitere na ala ụlọ ọrụ mmepụta ihe, fan oyi, ma ọ bụ ndị na-eji wafer robot eme ihe.
Ọ bụ ezie na ígwè na-emekarị ka ha "na-akụ" (na-ama jijiji ruo ogologo oge mgbe ha metụrụ aka), granite eke nwere ikike ime ka ha daa n'ime. Ọ na-amịkọrọ ma na-ewepụ ike kinetic ngwa ngwa. Granite a na-ebelata mkpọtụ maka ngwa lithography na-enye igwe ohere ka ọ daa ngwa ngwa mgbe ọ gbasịrị ọsọ ọsọ, na-eme ka mmepụta "Units Kwa Awa" (UPH) nke ngwaọrụ ahụ dịkwuo elu.
3. Na-abụghị Magnetik na nke na-anaghị eduzi eletriki
Usoro semiconductor na-agụnyekarị ọkụ elektrọn dị nro (E-beam) ma ọ bụ moto magnet linear dị elu. Ntọala ígwè nwere ike igbochi ubi magnet ndị a ma ọ bụ mepụta ọkụ eletrik nke na-emebi izi ezi nke sensọ.
Dịka ihe mkpuchi eke, granite na-enye ikpo okwu metrology na-abụghị magnetik maka ụlọ nhicha. Ọ naghị egbochi gburugburu elektrọnik nke ngwaọrụ ahụ, na-enye ohere maka data dị ọcha, nke na-emebi emebi n'oge nhazi wafer topography ma ọ bụ nyocha ntụpọ.
4. Nguzogide Nrụgide na Ndakọrịta Ụlọ Nhicha
N'ime ụlọ nhicha (Klas nke 1 maọbụ Klas nke 10), mmepụta gas na ihe ndị na-emebi ihe bụ ndị iro nke mmepụta. N'adịghị ka ígwè a kpụrụ akpụ maọbụ ígwè, granite eke anaghị agba nchara, anaghị eme ka ọ dị ọcha, maọbụ chọọ agba kemịkalụ na ihe mkpuchi nke nwere ike ịgbapụ maọbụ gbapụ gas ka oge na-aga.
Granite anaghị arụ ọrụ nke ọma n'ihi kemịkalụ. Ọ bụrụgodị na e kpughee ya nye ihe nhicha pụrụ iche e ji arụ ọrụ na semiconductor fab, ọ na-anọgide na-eguzosi ike n'elu ya. Ọdịdị ya dị elu (ihe dị ka 3100kg/m³) na-eme ka o doo anya na ọ nọgidere "na-anọpụ iche" n'oge ndụ nke akụrụngwa ahụ.
5. Imezu "Ezigbo Nhagharị" site na Ịlacha Aka
N'ụlọ ọrụ semiconductor, "flat" adịghị larịị nke ọma. Ihe ndị mejupụtara ya na-achọkarị nhazi ọkwa nano nke igwe CNC na-enweghị ike imezu.
Granite eke na-enye ohere maka ịkụ aka, usoro nhazi aka ebe ndị ọkachamara na-enweta nnabata dị larịị dịka ±0.001mm. Ọkwa nkenke a dị oke mkpa maka usoro ikuku eji eme ihe na nyocha wafer nke oge a, ebe oghere ikuku dị n'etiti ogbo na ntọala ga-anọgide na-adị ka otu n'ofe njem niile.
Uru ZHHIMG: Nkenke maka Nano-Age
Na UNPARALLELED (ZHHIMG), anyị ghọtara nkwụsi ike okpomọkụ nke granite na semiconductor fab karịa onye ọ bụla. Anyị na-enye ihe ndị e ji granite emepụtara nke ọma nye ndị na-emepụta ngwaọrụ semiconductor kachasị elu n'ụwa, ndị ọkachamara na:
-
Ntọala ikuku ruru unyi buru ibu nke ukwuu.
-
Ogbugbo nkenke maka sistemụ gantry dị elu.
-
Ihe ntinye agbakwunyere maka itinye moto kwụ ọtọ.
A na-enweta ma na-ahazi granite ojii anyị dị oke njupụta iji mezuo nkọwapụta kachasị mkpa nke usoro ụzọ semiconductor zuru ụwa ọnụ.
Oge ozi: Maachị-10-2026