Kedu ihe eji eji Granite eme ihe na ngwa nhazi wafer?

Granite bụ ihe a ma ama n'ụlọ ọrụ nhazi wafer n'ihi ihe ndị dị na ya na ogologo oge ya. Ọ bụ nkume eke nke a na-egwupụta site n'ebe a na-egwupụta ihe n'ụwa niile ma ejirila ya kemgbe ọtụtụ narị afọ maka ọtụtụ ihe owuwu, gụnyere imepụta ngwa semiconductor. N'isiokwu a, anyị ga-atụle ihe ndị dị na granite na ojiji ya dị iche iche na ngwa nhazi wafer.

Njirimara nke Granite

Granite bụ nkume igneous nke e ji mica, feldspar, na quartz mee. A maara ya maka ike ya pụrụ iche, ike ya siri ike, na ogologo oge ya, nke na-eme ka ọ bụrụ ihe kacha mma maka ojiji nke chọrọ ezigbo nkenke na izi ezi. Granite nwere obere coefficient nke mgbasawanye okpomọkụ, nke pụtara na ọ naghị agbasa ma ọ bụ gbawaa n'ihi mgbanwe okpomọkụ, na-eme ka ọ kwụsie ike nke ukwuu. Na mgbakwunye, granite na-eguzogide nchara na kemịkalụ, nke na-eme ka ọ bụrụ ihe kacha mma maka iji na gburugburu ebe siri ike.

Ngwa nke Granite na Ngwa Nhazi Wafer

Granite bụ ihe a na-ejikarị eme ihe n'ụlọ ọrụ nhazi wafer n'ihi njikọta pụrụ iche ya. Ihe ndị a bụ ụfọdụ ojiji nke granite na ngwa nhazi wafer:

1. Ngwaọrụ Usoro Ọmụmụ Ihe

A na-ejikarị granite eme ihe n'ịmepụta ngwaọrụ metrology, dịka igwe nha nhazi (CMMs) na sistemụ nha anya. Ngwaọrụ ndị a chọrọ elu kwụsiri ike nke nwere ike iguzogide mkpọtụ na okpomọkụ. Ike siri ike na obere mmụba okpomọkụ nke granite na-eme ka ọ bụrụ ihe kacha mma maka ojiji ndị dị otú ahụ.

2. Wafer Chucks

A na-eji wafer chucks ejide wafer n'oge a na-emepụta ya. Wafer chucks ndị a chọrọ elu dị larịị ma kwụsie ike iji gbochie wafer ahụ ịgbagọ ma ọ bụ gbagọọ agbagọ. Granite na-enye elu dị larịị nke kwụsiri ike nke ukwuu ma na-eguzogide mgbagọ, na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mma maka wafer chucks.

3. Ngwaọrụ Nchacha Mechanical Chemical (CMP)

A na-eji ngwaọrụ CMP eme ka wafers dị ọcha n'oge a na-emepụta ha. Ngwaọrụ ndị a chọrọ ikpo okwu kwụsiri ike nke nwere ike iguzogide mkpọtụ na okpomọkụ. Nkwụsi ike dị mma na obere mgbasawanye okpomọkụ nke granite na-eme ka ọ bụrụ ihe kacha mma maka ngwaọrụ CMP.

4. Ngwa Nnyocha Wafer

A na-eji ngwa nyocha wafer eme nnyocha wafer maka ntụpọ na ntụpọ. Ngwaọrụ ndị a chọrọ elu kwụsiri ike ma dị larịị iji hụ na nha ziri ezi. Granite na-enye elu kwụsiri ike ma dị larịị nke na-eguzogide mgbagọ, na-eme ka ọ bụrụ ihe kacha mma maka ngwa nyocha wafer.

Mmechi

Na mmechi, granite bụ ihe a na-ejikarị eme ihe n'ụlọ ọrụ nhazi wafer n'ihi na ọ nwere nnukwu ihe eji arụ ọrụ na ogologo oge. A na-ejikarị ya eme ihe n'ịmepụta ngwaọrụ metrology, wafer chucks, ngwaọrụ CMP, na ngwa nyocha wafer. Njikọta pụrụ iche nke ihe onwunwe na-eme ka ọ bụrụ ihe kacha mma maka ngwa ndị chọrọ nkenke na izi ezi dị elu. Site na ọtụtụ uru ya, granite ka bụ nhọrọ a ma ama maka ngwa nhazi wafer, ojiji ya ga-anọgide na-eto n'ọdịnihu.