;
N'ihe gbasara imepụta semiconductor, izi ezi nke ngwa nyocha wafer na-ekpebi kpọmkwem ịdị mma na mmepụta nke ibe. Dịka ntọala na-akwado ihe nchọpụta isi, nkwụsi ike nha nke ihe ntọala akụrụngwa na-arụ ọrụ dị oke mkpa na arụmọrụ ọrụ ogologo oge nke akụrụngwa ahụ. Granite na ígwè a kpụrụ akpụ bụ ihe abụọ a na-ejikarị eme ihe maka ngwa nyocha wafer. Nnyocha ntụnyere afọ 10 ekpughela nnukwu ọdịiche dị n'etiti ha n'ihe gbasara nkwụsi ike nha, na-enye ntụaka dị mkpa maka nhọrọ akụrụngwa.
Nzụlite na Nhazi Nnwale
Usoro mmepụta nke wafers semiconductor nwere nnukwu ihe achọrọ maka izi ezi nchọpụta. Ọbụna mgbanwe nha nke micrometer nwere ike ibute mbelata na arụmọrụ chip ma ọ bụ ọbụna mkpochapụ. Iji chọpụta nkwụsi ike nha nke granite na ígwè a kpụrụ akpụ n'oge ojiji ogologo oge, ndị otu nyocha ahụ mepụtara nnwale ndị mere ka gburugburu ebe ọrụ dị adị. A họọrọ ihe atụ granite na ígwè a kpụrụ akpụ nke otu nkọwapụta ahụ ma tinye ha n'ime ụlọ gburugburu ebe okpomọkụ na-agbanwe site na 15℃ ruo 35℃ na iru mmiri na-agbanwe site na 30% ruo 70% RH. E jiri tebụl vibration tụọ ụda igwe n'oge ọrụ nke akụrụngwa ahụ. A tụrụ akụkụ dị mkpa nke ihe nlele ahụ kwa nkeji iri na ise site na iji laser interferometer dị elu, a na-edekọkwa data ahụ mgbe niile ruo afọ 10.

Nsonaazụ nnwale: Uru zuru oke nke granite
Afọ iri nke data nnwale na-egosi na ihe mejupụtara granite ahụ na-egosi nkwụsi ike dị egwu. Oke ya nke mgbasawanye okpomọkụ dị oke ala, nkezi naanị 4.6 × 10⁻⁶/℃. N'okpuru mgbanwe okpomọkụ dị oke njọ, a na-achịkwa mgbanwe nha mgbe niile n'ime ±0.001mm. N'agbanyeghị mgbanwe iru mmiri, nhazi dị oke njọ nke granite na-eme ka ọ ghara imetụta ya, ọ dịghịkwa mgbanwe nha a na-atụ anya ya. N'ebe a na-ama jijiji igwe, njirimara dị mma nke na-ebelata mmiri nke granite na-amịkọrọ ike ịma jijiji nke ọma, mgbanwe nha dịkwa obere.
N'ụzọ dị iche, maka ihe e ji kpụọ ígwè, nkezi ọnụọgụ ya nke mgbasa okpomọkụ na-eru 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, oke nha kachasị nke mgbanwe okpomọkụ kpatara n'ime afọ 10 bụ ±0.05mm. N'ebe iru mmiri dị, ígwè a kpụrụ akpụ na-enwekarị nchara na nchara. Ụfọdụ ihe atụ na-egosi mgbanwe mpaghara, mgbanwe nha na-abawanyekwa. N'okpuru ọrụ nke mkpọtụ igwe, ígwè a kpụrụ akpụ nwere arụmọrụ na-adịghị mma nke na-ebelata mkpọtụ, nha ya na-agbanwekwa ugboro ugboro, na-eme ka o sie ike iru ihe achọrọ dị elu nke nyocha wafer.
Ihe dị mkpa kpatara ọdịiche dị na nkwụsi ike
E ji usoro ala mepụta granite ruo ọtụtụ narị nde afọ. Nhazi ime ya dị oke ma dịkwa otu, kristal mineral ndị ahụ dịkwa n'usoro nke ọma, na-ewepụ nrụgide dị n'ime site n'okike. Nke a na-eme ka ọ ghara inwe mmetụta nke ukwuu na mgbanwe dị na ihe ndị dị n'èzí dịka okpomọkụ, iru mmiri na ịma jijiji. A na-eme ígwè a kpụrụ akpụ site na usoro a kpụrụ akpụ ma nwee ntụpọ dị nta dịka oghere na oghere ájá n'ime. Ka ọ dị ugbu a, nrụgide fọdụrụnụ nke a na-emepụta n'oge a na-etinye ihe na-eme ka ọ nwee ike ịgbanwe nha n'okpuru mkpali nke gburugburu ebe obibi. Njirimara ígwè nke ígwè a kpụrụ akpụ na-eme ka ọ ghara ịcha nchara n'ihi iru mmiri, na-eme ka mmebi nhazi dịkwuo ngwa ngwa ma na-ebelata nkwụsi ike nha.
Mmetụta dị na akụrụngwa nyocha wafer
Ngwa nyocha Wafer nke dabere na granite substrate, yana arụmọrụ nha ya kwụsiri ike, nwere ike ijide n'aka na sistemụ nyocha ahụ na-edobe oke nkenke ruo ogologo oge, belata mkpebi na-ezighi ezi na nchọpụta efu nke njehie nke ngwaọrụ na-akpata, ma melite mmepụta ngwaahịa nke ukwuu. Ka ọ dị ugbu a, obere ihe achọrọ maka mmezi na-ebelata ọnụ ahịa ndụ zuru oke nke akụrụngwa ahụ. Ngwaọrụ eji ihe eji eme ihe, n'ihi enweghị nkwụsi ike nha, chọrọ nhazi na mmezi ugboro ugboro. Nke a abụghị naanị na ọ na-eme ka ọnụ ahịa ọrụ dịkwuo elu kamakwa ọ nwere ike imetụta ogo mmepụta semiconductor n'ihi enweghị ezigbo nkenke, na-akpata mfu akụ na ụba.
N'okpuru usoro ụlọ ọrụ semiconductor na-achọ ka e jiri ya mee ihe nke ọma ma dị mma, ịhọrọ granite dị ka ihe ndabere maka ngwa nyocha wafer bụ ihe amamihe dị na ya iji hụ na akụrụngwa na-arụ ọrụ nke ọma ma mee ka ụlọ ọrụ ndị ọzọ na-asọmpi.
Oge ozi: Mee-14-2025
