;
N'ihe gbasara mmepụta semiconductor, nke na-agbaso izi ezi kachasị, oke nke mgbasawanye okpomọkụ bụ otu n'ime ihe ndị bụ isi na-emetụta mma ngwaahịa na nkwụsi ike mmepụta. N'ime usoro niile site na fotolithography, etching ruo na nkwakọ ngwaahịa, ọdịiche dị na oke mgbasawanye okpomọkụ nke ihe nwere ike igbochi izi ezi nke nrụpụta n'ụzọ dị iche iche. Agbanyeghị, ntọala granite, yana oke mgbasawanye okpomọkụ ya dị ala, aghọwo isi ihe na-edozi nsogbu a.
Usoro Lithography: Mgbanwe okpomọkụ na-akpata mgbanwe ụkpụrụ
Fotolithography bụ nzọụkwụ dị mkpa n'ime mmepụta semiconductor. Site na igwe fotolithography, a na-ebufe ụkpụrụ sekit dị na ihe mkpuchi ahụ n'elu wafer nke ejiri photoresist kpuchie. N'oge usoro a, njikwa okpomọkụ dị n'ime igwe fotolithography na nkwụsi ike nke tebụl ọrụ dị oke mkpa. Were ihe eji eme ihe ọla ọdịnala dịka ihe atụ. Ọnụọgụ ha nke mgbasawanye okpomọkụ dị ihe dị ka 12×10⁻⁶/℃. N'oge ọrụ nke igwe fotolithography, okpomọkụ nke isi iyi ọkụ laser, lenses anya na ihe ndị mejupụtara igwe na-emepụta ga-eme ka okpomọkụ akụrụngwa rịa elu site na 5-10 ℃. Ọ bụrụ na tebụl ọrụ nke igwe lithography na-eji ntọala ígwè, ntọala mita 1 nwere ike ibute mgbanwe mgbasa nke 60-120 μm, nke ga-eduga na mgbanwe na ọnọdụ dị n'etiti ihe mkpuchi ahụ na wafer.
N'ime usoro nrụpụta dị elu (dịka 3nm na 2nm), oghere transistor bụ naanị nanomita ole na ole. Obere mgbanwe okpomọkụ dị otú ahụ zuru oke ime ka usoro photolithography ghara ịdị mma, na-eduga na njikọ transistor na-adịghị mma, sekit dị mkpụmkpụ ma ọ bụ sekit mepere emepe, na nsogbu ndị ọzọ, na-ebute ozugbo ọrụ chip dara. Oke mgbasawanye okpomọkụ nke ntọala granite dị ala dị ka 0.01μm/°C (ya bụ, (1-2) ×10⁻⁶/℃), mgbanwe ahụ n'okpuru otu mgbanwe okpomọkụ ahụ bụ naanị 1/10-1/5 nke ígwè. Ọ nwere ike inye ikpo okwu kwụsiri ike maka igwe photolithography, na-ahụ na nnyefe ziri ezi nke ụkpụrụ photolithography ma na-eme ka mmepụta nke mmepụta chip dịkwuo mma nke ukwuu.
Ịchacha na itinye ihe: Na-emetụta izi ezi nke nhazi ahụ
Ịkpụcha na itinye ihe bụ isi ihe eji arụ usoro sekit atọ n'elu wafer. N'oge usoro ịkpụcha ihe, gas na-emegharị ahụ na-enweta mmeghachi omume kemịkalụ na ihe dị n'elu wafer ahụ. Ka ọ dị ugbu a, ihe ndị dị ka ike RF na njikwa mmiri gas n'ime akụrụngwa ahụ na-emepụta okpomọkụ, na-eme ka okpomọkụ nke wafer na ihe ndị dị na akụrụngwa ahụ rịa elu. Ọ bụrụ na oke mgbasawanye okpomọkụ nke ihe na-ebu wafer ma ọ bụ ntọala akụrụngwa adabaghị na nke wafer ahụ (oke mgbasawanye okpomọkụ nke ihe silicon dị ihe dị ka 2.6 × 10⁻⁶/℃), nrụgide okpomọkụ ga-apụta mgbe okpomọkụ gbanwere, nke nwere ike ibute obere mgbawa ma ọ bụ mgbagọ n'elu wafer ahụ.
Ụdị mgbanwe a ga-emetụta omimi nke ịcha ihe na mgbidi dị n'akụkụ, na-eme ka nha nke oghere ndị a kpụchara akpụcha, site na oghere na ihe owuwu ndị ọzọ ghara ịdị na ihe achọrọ maka imewe. N'otu aka ahụ, n'usoro ịcha ihe nkiri dị gịrịgịrị, ọdịiche dị na mgbasawanye okpomọkụ nwere ike ibute nrụgide dị n'ime na ihe nkiri dị gịrịgịrị nke a na-etinye, na-ebute nsogbu dịka mgbawa na ịcha ihe nkiri ahụ, nke na-emetụta arụmọrụ eletriki na ntụkwasị obi ogologo oge nke chip ahụ. Ojiji nke ntọala granite nwere ihe na-eme ka okpomọkụ gbasaa dị ka nke ihe silicon nwere ike ibelata nrụgide okpomọkụ nke ọma ma hụ na usoro ịcha ihe na itinye ihe kwụsiri ike na izi ezi.
Oge nkwakọ ngwaahịa: Enweghị ike itinye okpomọkụ n'ọrụ na-akpata nsogbu ntụkwasị obi
N'ọkwa nkwakọ ngwaahịa semiconductor, ndakọrịta nke ihe ndị na-eme ka okpomọkụ gbasaa n'etiti mgbawa na ihe e ji ekpuchi ihe (dịka epoxy resin, seramiiki, wdg) dị oke mkpa. Oke mgbasawanye okpomọkụ nke silicon, ihe dị n'ime ihe ndị e ji ekpuchi ihe, dị obere, ebe nke ọtụtụ ihe e ji ekpuchi ihe dị elu. Mgbe okpomọkụ nke ihe ndị e ji ekpuchi ihe gbanwere n'oge eji ya, nrụgide okpomọkụ ga-eme n'etiti ihe ndị e ji ekpuchi ihe n'ihi enweghị njikọ nke ihe ndị na-eme ka okpomọkụ gbasaa.
Nrụgide okpomọkụ a, n'okpuru mmetụta nke usoro okpomọkụ ugboro ugboro (dịka ikpo ọkụ na oyi n'oge ọrụ nke chip), nwere ike ibute ike ọgwụgwụ nke njikọ solder n'etiti chip na ihe mkpuchi nkwakọ ngwaahịa, ma ọ bụ mee ka waya njikọ dị n'elu chip daa, nke na-ebute ọdịda nke njikọ eletriki nke chip ahụ. Site n'ịhọrọ ihe mkpuchi nkwakọ ngwaahịa nwere oke mgbasawanye okpomọkụ dị nso na nke ihe silicon na iji ikpo okwu nnwale granite nwere ezigbo nkwụsi ike okpomọkụ maka nchọpụta ziri ezi n'oge usoro nkwakọ ngwaahịa, enwere ike ibelata nsogbu nke enweghị ike ijikọ okpomọkụ nke ọma, enwere ike imeziwanye ntụkwasị obi nke nkwakọ ngwaahịa, yana ogologo ndụ ọrụ nke chip ahụ.
Njikwa gburugburu ebe mmepụta: Nkwụsi ike a haziri nke ọma nke akụrụngwa na ụlọ mmepụta ihe
Na mgbakwunye na imetụta usoro mmepụta ihe ozugbo, oke mmụba okpomọkụ metụtara njikwa gburugburu ebe obibi nke ụlọ ọrụ semiconductor. Na nnukwu ụlọ ọrụ mmepụta semiconductor, ihe ndị dị ka mmalite na nkwụsị nke sistemụ ntụ oyi na mwepụ okpomọkụ nke ụyọkọ akụrụngwa nwere ike ibute mgbanwe na okpomọkụ gburugburu ebe obibi. Ọ bụrụ na oke mmụba okpomọkụ nke ala ụlọ ọrụ mmepụta ihe, ntọala akụrụngwa na akụrụngwa ndị ọzọ dị oke elu, mgbanwe okpomọkụ ogologo oge ga-eme ka ala gbawaa ma ntọala akụrụngwa gbanwee, si otú a na-emetụta izi ezi nke akụrụngwa ziri ezi dị ka igwe fotolithography na igwe etching.
Site n'iji ntọala granite dị ka ihe nkwado akụrụngwa ma jikọta ha na ihe owuwu ụlọ ọrụ mmepụta ihe nwere obere ihe ndị na-eme ka okpomọkụ gbasaa, enwere ike ịmepụta gburugburu mmepụta kwụsiri ike, na-ebelata ugboro ole a na-eme ka akụrụngwa na-akwụ ụgwọ na mmezi nke mgbanwe okpomọkụ gburugburu ebe obibi kpatara, ma hụ na usoro mmepụta semiconductor na-arụ ọrụ ogologo oge.
Ọnụọgụ nke mgbasawanye okpomọkụ na-agafe usoro ndụ niile nke mmepụta semiconductor, site na nhọrọ ihe, njikwa usoro ruo na nkwakọ ngwaahịa na nnwale. A ghaghị ịtụle mmetụta nke mgbasawanye okpomọkụ nke ọma na njikọ ọ bụla. Ntọala granite, nke nwere oke obere mgbasawanye okpomọkụ na ihe ndị ọzọ dị mma, na-enye ntọala anụ ahụ kwụsiri ike maka imepụta semiconductor ma bụrụ nkwa dị mkpa maka ịkwalite mmepe nke usoro mmepụta chip ruo na nkenke ka mma.
Oge ozi: Mee-20-2025