Imepụta Semiconductor: N'ime usoro nrụpụta mgbawa, usoro fotolithography kwesịrị ịnyefe ụkpụrụ sekit ahụ kpọmkwem na wafer. The granite base nke otu axis ikuku na-ese n'elu ultra-nkenke ngagharị modul nwere ike inye ọkwa dị elu na nkwado kwụsiri ike maka tebụl wafer na akụrụngwa lithography. Dịka ọmụmaatụ, ASML na ndị na-emepụta igwe lithography ndị ọzọ a ma ama na mba ụwa na-eji modul ikuku na-ese n'elu granite n'ime akụrụngwa ha dị elu, nke nwere ike ijikwa nguzozi nke wafer na ọkwa nanometer iji hụ na izi ezi nke ụkpụrụ lithography, si otú ahụ na-emezi njikọ na arụmọrụ nke mgbawa.
Mpaghara nha nkenke: CMM bụ ngwa nha nkenke a na-ejikarị na mmepụta ụlọ ọrụ, nke a na-eji tụọ nha, ọdịdị na ọnọdụ ziri ezi nke workpiece. Enwere ike iji modul ngagharị nke ultra-nkenke nke otu axis ikuku na-ese n'elu granite dị ka usoro ngagharị nke CMM, nke nwere ike ghọta mmegharị ahịrị kwụ ọtọ dị elu ma nye trajectory kwụsiri ike maka nyocha nha. Dịka ọmụmaatụ, CMM dị elu nke Hexagon na-eji ngwakọta a tụọ akụkụ buru ibu ma dị mgbagwoju anya na nha nha ruo ọkwa micron, na-enye nkwa siri ike maka njikwa njirimara akụkụ na ụgbọ ala, ikuku ikuku na ụlọ ọrụ ndị ọzọ.
Aerospace ubi: Na nhazi na ule nke aerospace akụkụ, elu nkenke chọrọ. Dịka ọmụmaatụ, iji igwe igwe ụgbọ elu chọrọ njikwa ziri ezi nke usoro mmegharị ngwa ngwa iji hụ na profaịlụ agụba ziri ezi. Enwere ike itinye granite base nke otu axis air float ultra-precision motion modul na ụlọ ọrụ machining ise na akụrụngwa ndị ọzọ iji nye njikwa ngagharị dị elu maka ngwa ahụ ma hụ na njiri mara mma nke agụba nwere ike imezu ihe a chọrọ. N'otu oge ahụ, na mgbakọ mgbakọ nke engine aero, ọ dịkwa mkpa iji ngwá ọrụ dị elu dị elu iji chọpụta nhazi nhazi nke akụkụ ahụ. Igwe ikuku na-ese n'elu mmiri nke granite base nwere ike inye nkwado kwụsiri ike na mmegharị ziri ezi maka akụrụngwa nha iji hụ na mgbakọ ahụ dị mma.
Ogige nyocha anya: N'ime mmepụta na usoro nyocha nke ngwa anya, ọ dị mkpa iji mee nhazi nhazi dị elu na nha nke ngwa anya. Dịka ọmụmaatụ, mgbe ị na-emepụta ihe ndị dị elu dị elu dị ka enyo na anya anya, ọ dị mkpa iji interferometers na ngwá ọrụ ndị ọzọ iji chọpụta ọdịdị ọdịdị elu ahụ. Enwere ike iji ntọala granite nke otu axis ikuku na-ese n'elu ultra-nkenke ngagharị modul dị ka ikpo okwu ngagharị nke interferometer, nke nwere ike ghọta nke ọma n'ọkwa sub-micron ma nye nkwado data ziri ezi maka nchọpụta nke ngwa anya. Tụkwasị na nke ahụ, na ngwá ọrụ nhazi laser, ọ dịkwa mkpa iji usoro mmegharị nke ziri ezi iji chịkwaa trajectory scanning nke laser beam, isi granite nke ikuku na-ese n'elu modul nwere ike izute ihe a chọrọ, iji nweta nhazi nhazi laser dị elu.
Oge nzipu: Eprel-07-2025