;
N'ime ụlọ ọrụ semiconductor, nyocha wafer bụ isi njikọ iji hụ na ịdị mma na arụmọrụ nke mgbawa, na izi ezi na nkwụsi ike nke tebụl nyocha na-arụ ọrụ dị mkpa na nsonaazụ nchọpụta. Granite base nwere njiri mara ya pụrụ iche, bụrụ nhọrọ kacha mma maka tebụl nyocha semiconductor wafer, ndị a sitere na nyocha nke ọtụtụ akụkụ maka gị. ;
Nke mbụ, nkenke nkwa nha
1. Ultra-high flatness and straightness: A na-edozi ntọala granite site na nkà na ụzụ nhazi dị elu, na flatness nwere ike iru ± 0.001mm / m ma ọ bụ ọbụna ihe ziri ezi dị elu, na nkwụsịtụ dịkwa mma. N'ime usoro nyocha nke wafer, ụgbọ elu dị elu na-enye nkwado kwụsiri ike maka wafer ma hụ na kọntaktị ziri ezi n'etiti nyocha nke ngwá ọrụ nyocha na nkwonkwo na-ere ahịa n'elu wafer. ;
2. Dị nnọọ ala ọnụọgụ nke thermal mgbasa: semiconductor n'ichepụta bụ mmetụta nke okpomọkụ mgbanwe, na ọnụọgụ nke thermal mgbasawanye nke konkiri bụ nnọọ ala, na-emekarị banyere 5 × 10⁻⁶ / ℃. Mgbe ikpo okwu nchọpụta na-agba ọsọ, ọ bụrụgodị na ọnọdụ okpomọkụ na-agbanwe agbanwe, nha nke isi granite na-agbanwe ntakịrị. Dịka ọmụmaatụ, n'ime ụlọ ọrụ okpomọkụ dị elu n'oge okpomọkụ, okpomọkụ nke ikpo okwu nchọta isi ígwè nkịtị nwere ike ime ka ọnọdụ ndị ikwu nke wafer na ihe nchọpụta ahụ gbanwee, na-emetụta nrịbama nchọpụta; Ikpo okwu nchọpụta ntọala granite nwere ike idowe nkwụsi ike, hụ na ọnọdụ ọnọdụ ziri ezi nke wafer na akụrụngwa nchọpụta n'oge usoro nchọpụta, ma nye ebe kwụsiri ike maka nchọpụta dị elu. ;
Nke abụọ, nkwụsi ike akụkụ
1. Ọdịdị kwụsiri ike na nguzogide vibration: Granite mgbe ọtụtụ nde afọ nke usoro geological gasịrị, usoro dị n'ime ya dị oke na otu. N'ebe mgbagwoju anya nke ụlọ ọrụ semiconductor, vibration nke arụ ọrụ nke akụrụngwa na ndị ọrụ na-ejegharị gburugburu na-ebelata nke ọma site na ntọala granite. ;
2. Ogologo oge iji ziri ezi: ma e jiri ya tụnyere ihe ndị ọzọ, granite nwere ike siri ike, ike na-eguzogide ike, na Mohs siri ike nwere ike iru 6-7. Ọ dịghị mfe eyi n'elu ala granite n'oge ị na-ebufe wafer ugboro ugboro, nbudata na ọrụ nyocha. Dị ka n'ezie ojiji nke data ọnụ ọgụgụ, ojiji nke granite isi ule table, na-aga n'ihu na-arụ ọrụ mgbe 5000 awa, flatness na straightness ziri ezi ka nwere ike ịnọgide na-enwe na ihe karịrị 98% nke mbụ izi ezi, ibelata akụrụngwa n'ihi na-eyi nke isi kpatara mgbe calibration na mmezi oge, belata azụmahịa arụ ọrụ ego, iji hụ na ogologo oge kwụsie ike nke ule ọrụ. ;
Nke atọ, akụkụ dị ọcha na mgbochi nnyonye anya
1. Obere uzuzu uzuzu: gburugburu ebe a na-emepụta semiconductor kwesịrị ịdị ọcha nke ukwuu, na ihe granite n'onwe ya kwụsiri ike na ọ dịghị mfe ịmepụta ihe ndị dị n'ájá. N'oge a na-arụ ọrụ n'elu ikpo okwu ule, a na-ezere uzuzu nke isi na-eme ka ọ ghara imebi wafer, na ihe ize ndụ nke obere sekit na oghere na-emeghe site na uzuzu uzuzu na-ebelata. N'ebe a na-enyocha wafer nke ebe a na-amụ ihe na-enweghị uzuzu, a na-achịkwa ntinye uzuzu na gburugburu tebụl nleba anya granite ka ọ bụrụ ọkwa dị oke ala, na-ezute ihe ndị chọrọ ịdị ọcha siri ike nke ụlọ ọrụ semiconductor. ;
2. Enweghị nnyonye anya magnetik: ihe nchọpụta ahụ na-enwe mmetụta na gburugburu ebe obibi electromagnetic, na granite bụ ihe na-abụghị ihe ndọta, nke na-agaghị egbochi ihe mgbaàmà eletrik nke ngwaọrụ nchọpụta. N'iji nchọpụta elektrọn na teknụzụ nnwale ndị ọzọ chọrọ gburugburu elektrọnik dị oke elu, ntọala granite na-eme ka nnyefe kwụsie ike nke akara eletrọnịkị nke akụrụngwa nchọpụta wee hụ na nsonaazụ nnwale ahụ ziri ezi. Dịka ọmụmaatụ, mgbe a na-anwale wafer maka ịrụ ọrụ ọkụ eletrik dị elu, ntọala granite na-abụghị magnetik na-ezere nnyonye anya na ihe nrịbama nke ugbu a na voltaji, nke mere na nchọpụta nchọpụta na-egosipụta n'ezie àgwà eletriki wafer.
Oge nzipu: Mar-31-2025