Atụtara nkwụsi ike ọkụ nke ikpo okwu granite n'ime akụrụngwa metering semiconductor.

;
N'ọhịa nke imepụta semiconductor, nkenke bụ usoro ndụ nke ịdị mma ngwaahịa na arụmọrụ. Ngwá ọrụ mita semiconductor, dị ka njikọ isi iji hụ na mmepụta ihe ziri ezi, na-etinye ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ihe siri ike na nkwụsi ike nke akụkụ ya. N'ime ha, ikpo okwu granite, ya na nkwụsi ike ọkụ ya pụtara ìhè, na-arụ ọrụ dị mkpa na akụrụngwa mita semiconductor. Edemede a ga-eduzi nyocha miri emi nke arụmọrụ nkwụsi ike nke ikpo okwu granite na akụrụngwa metering semiconductor site na data nnwale n'ezie. ;
Ihe siri ike chọrọ maka nkwụsi ike nke okpomọkụ nke akụrụngwa na-emepụta semiconductor
Usoro mmepụta nke semiconductor dị oke mgbagwoju anya na nke ziri ezi, na obosara nke eriri sekit na mgbawa abanyela na ọkwa nanometer. N'ime usoro nrụpụta dị elu dị elu, ọbụlagodi obere mgbanwe okpomọkụ nwere ike ime ka mgbasawanye okpomọkụ na mkpọchi nke akụrụngwa akụrụngwa, si otú ahụ kpalite njehie nha. Dịka ọmụmaatụ, n'ime usoro fotolithography, ọ bụrụ na nha nha nke ngwa meter na-apụ site na 1 nanometer, ọ nwere ike ịkpata nsogbu siri ike dị ka obere sekit ma ọ bụ oghere na-emeghe na sekit na mgbawa, na-eduga na nkwụsị nke mgbawa. Dabere na ọnụ ọgụgụ data ụlọ ọrụ, maka mgbanwe ọ bụla 1 ℃ na ọnọdụ okpomọkụ, usoro igwe ihe eji achọpụta ihe igwe ọdịnala nwere ike ịnwe mgbanwe n'ụdị nke ọtụtụ nanometers. Agbanyeghị, nrụpụta semiconductor chọrọ ka achịkwa nha nha n'ime ± 0.1 nanometers, nke na-eme ka nkwụsi ike nke okpomọkụ bụrụ isi ihe na-ekpebi ma akụrụngwa igwe nwere ike imezu ihe achọrọ nke nrụpụta semiconductor. ;

Theoretical uru nke thermal nkwụsi ike nke granite nyiwe
Granite, dị ka ụdị okwute sitere n'okike, nwere kọmpat nke ịnweta crystallization dị n'ime, usoro dị oke ma nwee otu, ma nwee uru ebumpụta ụwa nke nkwụsi ike nke okpomọkụ. N'ihe gbasara ọnụọgụ nke mgbasawanye ọkụ, ọnụọgụ nke mgbasawanye ọkụ nke granite dị oke ala, n'ozuzu sitere na 4.5 ruo 6.5 × 10⁻⁶/K. N'ụzọ dị iche, ọnụọgụ nke mgbasawanye ọkụ nke ihe ndị a na-ahụkarị dị ka aluminom alloys dị elu dị ka 23.8 × 10⁻⁶ / K, nke bụ ugboro ugboro nke granite. Nke a pụtara na n'okpuru otu ọnọdụ mgbanwe ọnọdụ okpomọkụ, mgbanwe akụkụ nke ikpo okwu granite dị ntakịrị karịa nke ikpo okwu igwe, nke nwere ike inye ntụaka nha kwụsiri ike maka akụrụngwa mita semiconductor. ;
Tụkwasị na nke ahụ, usoro kristal nke granite na-enye ya ezigbo ịdị n'otu nke njikwa okpomọkụ. Mgbe arụ ọrụ akụrụngwa na-ebute okpomọkụ ma ọ bụ mgbanwe ọnọdụ okpomọkụ, ikpo okwu granite nwere ike wepụ ọkụ ngwa ngwa na nke ọma, na-ezere ikpo ọkụ mpaghara ma ọ bụ ihe na-eme ka ọ dị jụụ, si otú ahụ na-edobe ịdị n'otu nke ikpo okwu n'ozuzu ya ma na-eme ka nkwụsi ike nke nha nha. ;
Usoro na usoro nke nkwụsi ike nke okpomọkụ
Iji nyochaa nke ọma nkwụsi ike okpomọkụ nke ikpo okwu granite n'ime akụrụngwa mita semiconductor, anyị ewepụtala atụmatụ nha siri ike. Họrọ ngwa ihe atụ nke semiconductor wafer dị elu, nke ejiri ikpo okwu granite edoziri nke ọma. N'ebe nnwale ahụ, a na-eme ka ọnọdụ okpomọkụ dị iche iche dị na ụlọ ọrụ nrụpụta semiconductor, ya bụ, jiri nwayọọ nwayọọ na-ekpo ọkụ site na 20 ℃ ruo 35 ℃ wee mee ka ọ dị jụụ na 20 ℃. Usoro ahụ niile were awa 8. ;
N'elu ikpo okwu granite nke akụrụngwa a na-atụ ihe, a na-edobe ọkọlọtọ silicon wafers dị elu, a na-eji ihe mmetụta mbugharị nwere nanoscale ziri ezi na-enyocha mgbanwe ọnọdụ dị n'etiti wafer silicon na ikpo okwu ozugbo. Ka ọ dị ugbu a, a na-ahazi ọtụtụ ihe mmetụta okpomọkụ dị elu na ọnọdụ dị iche iche n'elu ikpo okwu iji nyochaa nkesa okpomọkụ n'elu ikpo okwu. N'oge nnwale ahụ, e dekọrọ data nchụpụ na data okpomọkụ kwa nkeji iri na ise iji hụ na izu oke na izi ezi nke data ahụ. ;
Atụtara data na nyocha nsonaazụ
Mmekọrịta dị n'etiti mgbanwe okpomọkụ na mgbanwe nha ikpo okwu
Data nnwale na-egosi na mgbe okpomọkụ na-ebili site na 20 ℃ ruo 35 ℃, mgbanwe na linear size nke granite ikpo okwu dị nnọọ obere. Mgbe agbakọchara, n'oge usoro kpo oku niile, mgbasawanye ahịrị kachasị nke ikpo okwu bụ naanị 0.3 nanometers, nke dị ala karịa oke nnabata nke njehie maka nha nha na usoro nrụpụta semiconductor. N'oge a jụrụ oyi, ikpo okwu size nwere ike fọrọ nke nta kpamkpam laghachi na mbụ ala, na lag onu nke size mgbanwe nwere ike ileghara. Njirimara a nke idowe mgbanwe akụkụ dị oke ala ọbụlagodi n'okpuru mgbanwe mgbanwe okpomọkụ na-akwado nkwụsi ike dị egwu nke ikpo okwu granite. ;
Nyocha nke ịdị n'otu okpomọkụ n'elu ikpo okwu
Ihe data anakọtara site na ihe mmetụta okpomọkụ na-egosi na n'oge arụ ọrụ nke akụrụngwa na usoro mgbanwe okpomọkụ, nkesa okpomọkụ n'elu ikpo okwu granite dị oke nha. Ọbụlagodi n'oge ọnọdụ okpomọkụ na-agbanwe nke ukwuu, a na-achịkwa ọdịiche dị n'etiti ebe nha ọ bụla n'elu ikpo okwu n'ime ± 0.1 ℃. Nkesa n'ụdị ọnọdụ okpomọkụ na-ezere nrụrụ ikpo okwu nke ọma na-akpata site na nrụgide okpomọkụ na-enweghị isi, na-ahụ maka ịdị larịị na nkwụsi ike nke elu ntụ ntụ, na-enye ebe nleba anya nke a pụrụ ịdabere na ya maka akụrụngwa metrology semiconductor. ;
Tụnyere na nyiwe ihe ọdịnala
A na-atụnyere data a tụrụ atụ nke ikpo okwu granite na ndị nke semiconductor metering ngwá ọrụ nke otu ụdị na-eji aluminum alloy ikpo okwu, na ndị dị iche iche dị ịrịba ama. N'okpuru otu ọnọdụ mgbanwe ọnọdụ okpomọkụ, mgbasawanye linear nke ikpo okwu aluminum alloy dị elu dị ka 2.5 nanometers, nke karịrị ugboro asatọ nke ikpo okwu granite. Ka ọ dị ugbu a, nkesa okpomọkụ dị n'elu ikpo okwu aluminom alloy enweghị isi, yana oke okpomọkụ dị iche na-erute 0.8 ℃, na-akpata nrụrụ doro anya nke ikpo okwu ma na-emetụta nha nha nha. ;
N'ime ụwa zuru oke nke akụrụngwa metrology semiconductor, ikpo okwu granite, na nkwụsi ike ọkụ ha pụtara ìhè, abụrụla ihe bụ isi n'ịhụ na nha nha. Data a tụrụ na-egosi na arụmọrụ pụtara ìhè nke ikpo okwu granite na ịzaghachi mgbanwe okpomọkụ, na-enye nkwado teknụzụ a pụrụ ịdabere na ya maka ụlọ ọrụ nrụpụta semiconductor. Dị ka usoro mmepụta semiconductor na-aga n'ihu na nkenke dị elu, uru nkwụsi ike nke ikpo okwu granite ga-aghọwanye nke ọma, na-aga n'ihu na nkà na ụzụ ọhụrụ na mmepe na ụlọ ọrụ ahụ.