A na-eji ihe Granite eme ihe n'ọtụtụ ebe na ụlọ ọrụ semiconductor n'ihi njirimara ha dị mma, dị ka nkwụsi ike dị elu, mgbasawanye ọkụ dị ala, na nnukwu iguzogide corrosion.Ngwongwo ndị a na-eme ka granite bụrụ ihe dị mma maka ịmepụta ihe dị elu nke ọma na usoro nnyefe wafer.
N'ime usoro mmepụta nke semiconductor, usoro nnyefe wafer na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ibufe wafers n'ofe dị iche iche nke usoro mmepụta ihe.Izi ezi na izi ezi bụ ihe dị mkpa achọrọ maka sistemu ndị a n'ihi na ọbụlagodi obere ndahie nwere ike imebi usoro a niile.Ya mere, a ghaghị ime ihe ndị dị na usoro nnyefe wafer site na ihe ndị dị elu, na granite na-emezu ihe ndị ahụ.
Akụkụ ụfọdụ nke usoro mbufe wafer nke emere site na ihe granite gụnyere:
1. Vacuum Chuck Tebụl
A na-eji tebụl vacuum chuck eme ihe maka ijide wafer n'oge usoro ahụ, ọ ga-abụrịrị na ọ ga-enwe ebe dị mma iji hụ na wafer adịghị emebi.Granite bụ ihe dị mma maka ịme tebụl a n'ihi na ọ nwere ebe dị larịị, nke na-adịghị mma nke na-enye nkwụsi ike dị elu na nkenke.Na mgbakwunye, granite nwere ọnụ ọgụgụ dị ala nke mgbasawanye ọkụ, na-eme ka ọ na-eguzogide mgbanwe okpomọkụ nke nwere ike ibute mgbanwe akụkụ na wafer.
2. Ogbo na-ebu ikuku
A na-eji ọkwa nke ikuku na-ebufe wafer site na ọkwa dị iche iche nke usoro mmepụta ihe.A na-ahazi ogbo ahụ iji nye mmegharị na-enweghị esemokwu, nke na-achọ oke nkenke na nkwụsi ike.A na-eji Granite mee ihe na ngwa a n'ihi na ọ bụ nkume siri ike na nke siri ike, ọ na-eguzogide nrụrụ na iyi ka oge na-aga.
3. Ntuziaka Motion Linear
A na-eji ntuziaka ngagharị ahịrị na-eduzi ogbo ikuku na-ebu, ma a ga-edobe ha nke ọma iji wedata mperi.A na-eji Granite wuo ntuziaka a n'ihi na ọ nwere ezigbo nkwụsi ike na ike.Ihe na-eguzogidekwa corrosion, nke na-eme ka ogologo ndụ nke usoro nduzi ahụ dị ogologo.
4. Akụrụngwa Metrology
A na-eji akụrụngwa metrology tụọ akụkụ na akụrụngwa nke wafer n'oge usoro nrụpụta.Granite bụ ihe dị mma maka iwulite akụrụngwa a n'ihi na ọ nwere nkwụsi ike dị elu, mgbasawanye dị ala, na obere nrụrụ n'okpuru ibu.Ọzọkwa, nkwụsi ike nke ọkụ granite na-eme ka a hụ na akụrụngwa metrology ka kwụsiri ike na nke ziri ezi ka oge na-aga.
N'ikpeazụ, ụlọ ọrụ semiconductor na-adabere na nkenke na izi ezi, na ihe ndị granite egosila na ọ bụ nke a pụrụ ịdabere na ya na nke siri ike na usoro mmepụta ihe.N'ọtụtụ ihe dị oke egwu na sistemụ mbufe wafer na-achọ nkwụsi ike dị elu, nkenke na mgbasawanye ọkụ dị ala, ndị injinia atụgharịala na ihe granite iji mezuo ihe ndị a dị oke mkpa.
Oge nzipu: Mar-19-2024