N'ọhịa dịka mmepụta semiconductor na ngwaọrụ nha nha ziri ezi, izi ezi nke ikpo okwu granite na-ekpebi kpọmkwem ụdị ọrụ nke akụrụngwa ahụ. Iji hụ na izi ezi nke ikpo okwu ahụ ruru ụkpụrụ ndị a, a ga-eme mgbalị site n'akụkụ abụọ: ịchọpụta ihe ngosi dị mkpa na ịgbaso ụkpụrụ ọkọlọtọ.

Nchọpụta ihe ngosi isi: Njikwa izi ezi nke akụkụ dị iche iche
Nchọpụta ịdị larịị: Ịchọpụta "ịdị larịị" nke ụgbọelu ntụaka
Nha dị larịị bụ isi ihe na-egosi nyiwe ziri ezi nke granite, a na-atụkwa ya site na iji ihe nyocha laser ma ọ bụ ọkwa eletrọniki. Ihe nyocha laser nwere ike tụọ kpọmkwem undulations nkeji na elu ikpo okwu site na ịwepụta ìhè laser na iji ụkpụrụ nke nnyonye anya ìhè, na izi ezi na-eru ọkwa sub-micron. Ọkwa eletrọniki na-atụ site na ịkwaga ọtụtụ ugboro ma na-ese map contour atọ nke elu ikpo okwu iji chọpụta ma enwere ihe mgbochi mpaghara ma ọ bụ depressions. Dịka ọmụmaatụ, ikpo okwu granite eji na igwe fotolithography semiconductor chọrọ ka ha nwee larịị nke ±0.5μm/m, nke pụtara na ọdịiche dị n'ịdị elu n'ime ogologo mita 1 ekwesịghị ịgafe ọkara micrometer. Naanị site na ngwa nchọpụta ziri ezi dị elu ka a ga-ahụ na ọkọlọtọ a siri ike.
2. Nchọpụta ịdị larịị: Hụ na mmegharị ahịrị "kwụ ọtọ" ahụ kwụ ọtọ
Maka ikpo okwu ndị nwere akụkụ mmegharị ziri ezi, ịdị larịị dị oke mkpa. Ụzọ ndị a na-ahụkarị maka nchọpụta bụ usoro waya ma ọ bụ ihe na-ejikọta laser. Usoro waya ahụ gụnyere ịkwụnye waya ígwè dị elu ma tụnyere oghere dị n'etiti elu ikpo okwu na waya ígwè iji chọpụta ịdị larịị. Ihe na-ejikọta laser na-eji njirimara mgbasa nke laser iji chọpụta njehie ahịrị nke elu nrụnye nke ihe na-eduzi okporo ụzọ ikpo okwu. Ọ bụrụ na ịdị larịị erughị ọkọlọtọ, ọ ga-eme ka akụrụngwa ahụ gbanwee n'oge mmegharị, na-emetụta nhazi ma ọ bụ izi ezi nha.
3. Nchọpụta ihe siri ike n'elu: Hụ na kọntaktị ahụ dị "mma"
Nchacha elu nke ikpo okwu ahụ na-emetụta nha nke nrụnye ihe mejupụtara ya. N'ozuzu, a na-eji mita stylus roughness ma ọ bụ microscope optical maka nchọpụta. Ngwaọrụ ụdị stylus na-edekọ mgbanwe dị elu nke profaịlụ microscopic site na ịkpọtụrụ elu ikpo okwu ahụ na nyocha dị mma. Microscopes optical nwere ike ilele udidi elu ozugbo. N'ọrụ dị oke nkenke, a chọrọ ijikwa oke elu nke ikpo okwu granite na Ra≤0.05μm, nke dabara na mmetụta yiri enyo, na-ahụ na ihe ndị mejupụtara ya dabara nke ọma n'oge nrụnye ma na-ezere ịma jijiji ma ọ bụ mbugharị nke oghere kpatara.
Ụkpụrụ nkenke ahụ na-agbaso: ụkpụrụ mba ụwa na njikwa ime ụlọ ọrụ ahụ
Ugbu a, n'ụwa niile, a na-ejikarị ọkọlọtọ ISO 25178 na GB/T 24632 eme ihe dị ka ntọala maka ịchọpụta izi ezi nke ikpo okwu granite, e nwekwara nhazi doro anya maka ihe ngosi dịka ịdị larịị na ịdị larịị. Na mgbakwunye, ụlọ ọrụ mmepụta ihe dị elu na-etinyekarị ụkpụrụ njikwa dị n'ime siri ike karị. Dịka ọmụmaatụ, ihe achọrọ maka ịdị larịị maka ikpo okwu granite nke igwe fotolithography dị elu karịa 30% karịa ọkọlọtọ mba ụwa. Mgbe a na-eme nnwale, a ga-atụnyere data a tụrụ na ọkọlọtọ ndị kwekọrọ. Naanị ikpo okwu ndị na-agbaso ụkpụrụ zuru oke nwere ike hụ na arụmọrụ kwụsiri ike na akụrụngwa ziri ezi.
Ịnyocha izi ezi nke ikpo okwu granite ziri ezi bụ ọrụ dị mkpa. Ọ bụ naanị site n'ịnwale ihe ngosi dị mkpa dịka ịdị larịị, ịdị larịị, na ịdị njọ n'elu, na ịgbaso ụkpụrụ mba ụwa na nke ụlọ ọrụ, ka a ga-esi jide n'aka na ikpo okwu ahụ nwere ike ịdị mma ma nwee ntụkwasị obi, na-atọ ntọala siri ike maka mpaghara mmepụta ihe dị elu dịka semiconductor na ngwa nhazi.
Oge ozi: Mee-21-2025
