N'akụkụ dị ka nrụpụta semiconductor na ngwa nha nkenke, izi ezi nke ikpo okwu granite na-ekpebi kpọmkwem ịdị mma nke akụrụngwa. Iji hụ na izi ezi nke ikpo okwu na-ezute ụkpụrụ, ekwesịrị ịme mgbalị site na akụkụ abụọ: nchọpụta nke isi ihe na-egosi na nrube isi na ụkpụrụ ọkọlọtọ. ;
Nchọpụta ihe ngosi isi: njikwa ọtụtụ akụkụ nke izi ezi
Nchọpụta flatness: Ịchọpụta "flatness" nke ụgbọ elu ntụaka
Flatness bụ isi ihe na-egosi nyiwe izizi granite, a na-atụkarịkwa ya site na interferometer laser ma ọ bụ ọkwa eletrọnịkị. Ihe interferometer laser nwere ike tụọ nkenke nkeji undulations n'elu ikpo okwu site n'ịkwanye ọkụ laser na iji ụkpụrụ nke nnyonye anya ọkụ, na-erute n'ụzọ ziri ezi na-eru ọkwa sub-micron. Ọkwa eletrọnịkị na-atụ site n'ịkwagharị ọtụtụ oge ma na-esepụta maapụ contour akụkụ atọ nke elu ikpo okwu iji chọpụta ma enwere protrusion mpaghara ma ọ bụ ịda mbà n'obi ọ bụla. Dịka ọmụmaatụ, a na-achọrọ ikpo okwu granite eji na igwe fotolithography nke semiconductor ka ọ nwee ntụpọ nke ± 0.5μm/m, nke pụtara na ọdịiche dị elu n'ime ogologo mita 1 ekwesịghị gafere ọkara micrometer. Naanị site na ngwa nchọpụta dị elu ka enwere ike ijide n'aka na ụkpụrụ a siri ike. ;
2. Nchọpụta nke ziri ezi: Gbaa mbọ hụ na "ịkwụ ọtọ" nke mmegharị ahịrị
Maka ikpo okwu ndị na-ebu akụkụ ndị na-akpụ akpụ nkenke, ịgbazigharị dị oke mkpa. Ụzọ ndị a na-ahụkarị maka nchọpụta bụ usoro waya ma ọ bụ collimator laser. Usoro waya na-agụnye ịkwụsịtụ eriri igwe dị elu na-atụnyere ọdịiche dị n'etiti elu ikpo okwu na waya ígwè iji chọpụta nha anya. Laser collimator na-eji njirimara mgbasa ozi ahịrị nke laser chọpụta njehie ahịrị nke nrụnye nke okporo ụzọ okporo ụzọ ikpo okwu. Ọ bụrụ na nkwụ ọtọ adịghị erute ọkọlọtọ, ọ ga-eme ka akụrụngwa gbanwee n'oge mmegharị ahụ, na-emetụta nhazi ma ọ bụ nha nha. ;
3. Nchọpụta ihe siri ike nke elu: Gbaa mbọ hụ na "ịdị mma" nke kọntaktị
Ọdịdị elu nke ikpo okwu na-emetụta ntinye nke akụrụngwa. N'ozuzu, a na-eji mita roughness stylus ma ọ bụ microscope anya maka nchọpụta. Ngwa ụdị stylus na-edekọ mgbanwe dị elu nke profaịlụ microscopic site na ịkpọtụrụ elu ikpo okwu na ezigbo nyocha. Microscopes anya nwere ike lelee udidi elu ozugbo. N'ime ngwa dị elu nke ọma, ọ dị mkpa ka a na-achịkwa ihe ndị dị n'elu ikpo okwu granite na Ra≤0.05μm, nke kwekọrọ na mmetụta yiri nke enyo, na-eme ka ihe ndị dị mma dabara adaba n'oge echichi na izere ịma jijiji ma ọ bụ nchụpụ nke oghere kpatara. ;
Ụkpụrụ ziri ezi na-eso: ụkpụrụ mba ụwa na njikwa ime ụlọ ọrụ
Ka ọ dị ugbu a, mba ụwa, ọkọlọtọ ISO 25178 na GB/T 24632 ka a na-ejikarị dị ka ihe ndabere maka ịchọpụta izi ezi nke nyiwe konkiri, na enwere nhazi ọkwa doro anya maka ihe ngosi dị ka ịdị larịị na kwụ ọtọ. Na mgbakwunye, ụlọ ọrụ na-emepụta ihe dị elu na-esetịpụ ụkpụrụ njikwa ime n'ụzọ siri ike karị. Dịka ọmụmaatụ, ihe achọrọ maka ikpo okwu granite nke igwe fotolithography bụ 30% dị elu karịa ọkọlọtọ mba ụwa. Mgbe ị na-eme ule, data a tụrụ kwesịrị iji tụnyere ụkpụrụ kwekọrọ. Naanị ikpo okwu na-agbaso ụkpụrụ ndị ahụ n'ụzọ zuru ezu nwere ike hụ na arụ ọrụ kwụsiri ike na akụrụngwa nkenke. ;
Nyochaa izi ezi nke ikpo okwu granite bụ usoro nhazi. Naanị site n'inyocha ihe nrịbama ndị bụ isi dị ka flatness, straightness, and surface roughness, na na-agbaso ụkpụrụ mba ụwa na ụlọ ọrụ, nwere ike ijide n'aka nkenke na ntụkwasị obi dị elu nke ikpo okwu, na-etinye ntọala siri ike maka ubi mmepụta ihe dị elu dị ka semiconductor na ngwa ngwa.
Oge nzipu: Mee-21-2025