Nkwụsi ike na izi ezi nke igwe ọ bụla dị oke oke—site na nnukwu igwe nrụkọba ihe (CMMs) ruo akụrụngwa lithography semiconductor dị elu — dabere na ntọala granite ya. Mgbe ị na-emeso ntọala monolithic nke ọnụ ọgụgụ dị ịrịba ama, ma ọ bụ akụkụ dị mgbagwoju anya nke Granite Flat Panel, mgbakọ na usoro nrụnye dị oke mkpa dị ka nkenke nrụpụta n'onwe ya. Naanị itinye panel nke emechara ezughi oke; A ga-emezurịrị ihe achọrọ gburugburu gburugburu ebe obibi na nhazi iji chekwaa ma jiri ọkwa dị larịị nke sub-micron gbaara ama nke panel.
1. Ntọala: A Stable, Ọkwa Substrate
Echiche na-ezighi ezi a na-enwekarị bụ na paịlụ granite ziri ezi, dị ka ndị emepụtara site na nnukwu njupụta anyị ZHHIMG® Black Granite (3100 kg/m³), nwere ike dozie ala na-adịghị akwụsi ike. Ọ bụ ezie na granite na-enye nkwụsi ike pụrụ iche, ọ ga-abụrịrị na ọ ga-akwado ya site na nhazi nke arụpụtara maka obere mgbagha ogologo oge.
Mpaghara mgbakọ ahụ ga-enwerịrị mkpụrụ nke na-abụghị naanị ọkwa mana gwọkwara ya nke ọma, na-abụkarị nkọwa ọkwa ndị agha maka oke na njupụta — na-egosipụta ala gbara ọkpụrụkpụ $1000mm$, nke siri ike siri ike na ụlọ nzukọ nke ZHHIMG. N'ụzọ dị mkpa, mkpụrụ a ga-anọpụ iche site na isi mmalite ịma jijiji. N'ime nhazi nke ntọala igwe anyị kachasị ukwuu, anyị na-etinye echiche dị ka moat mgbochi ịma jijiji nke gbara gburugburu ọnụ ụlọ metrology anyị iji hụ na ntọala n'onwe ya kwụ ọtọ na nke dịpụrụ adịpụ.
2. The iche Layer: Gouting na ọkwa
A na-ezere kọntaktị ozugbo n'etiti panel granite na ntọala ihe. A ghaghị ịkwado ntọala granite n'otu n'ime ihe ndị a gbakọrọ nke ọma na mgbakọ na mwepụ iji wepụ nrụgide dị n'ime ma jikwaa geometry akwadoro. Nke a chọrọ usoro nhazi ọkwa ọkachamara na oyi akwa grouting.
Ozugbo etinyere panel ahụ nke ọma site na iji jacks ma ọ bụ wedges na-agbanwe agbanwe, a na-agbanye ike dị elu, nke na-adịghị ada ada, nke ziri ezi n'ime oghere dị n'etiti granite na mkpụrụ. Nke a pụrụ iche grout na-agwọta etolite a elu-njupụta, otu interface nke na-adịgide adịgide na-ekesa ịdị arọ paneli, na-egbochi sag ma ọ bụ mgbagwoju anya nke nwere ike ma ọ bụghị iwebata nrụgide dị n'ime ma mebie flatness ka oge na-aga. Nzọụkwụ a na-agbanwe nke ọma granite panel na ntọala ka ọ bụrụ otu, ọnụ, na nke siri ike.
3. Thermal na Temporal Equilibrium
Dị ka ọ dị n'ọrụ metrology niile dị elu, ndidi bụ ihe kacha mkpa. Ogwe kọnịlị, ihe grouting, na ihe a na-ahụ anya ga-enwerịrị nha nhata na gburugburu ebe arụ ọrụ gbara ya gburugburu tupu emee nyocha nhazi ikpeazụ. Usoro a nwere ike were ụbọchị maka nnukwu ogwe.
Ọzọkwa, nhazi nhazi ọkwa-emere site na iji ngwá ọrụ dị ka interferometers laser na ọkwa eletrọnịkị - ga-emerịrị ngwa ngwa na nkeji nkeji, na-enye oge maka ihe ahụ iji dozie. Ndị ọkachamara nna anyị ukwu, ndị na-agbaso ụkpụrụ usoro metrology zuru ụwa ọnụ (DIN, ASME), ghọtara na ime ngwa ngwa n'ọkwa ikpeazụ nwere ike webata nrụgide latent, nke ga-apụta ma emesịa dị ka nke ziri ezi.
4. Njikọ nke akụrụngwa na mgbakọ omenala
Maka akụrụngwa Granite omenala nke ZHHIMG ma ọ bụ Panel Flat nke na-ejikọta moto linear, ikuku ikuku, ma ọ bụ ụgbọ okporo ígwè CMM, mgbakọ ikpeazụ chọrọ ịdị ọcha zuru oke. Ime ụlọ mgbakọ dị ọcha nke anyị raara onwe ya nye, nke na-eṅomi gburugburu akụrụngwa semiconductor, dị mkpa n'ihi na ọbụna ụmụ irighiri uzuzu microscopic tọrọ n'etiti granite na akụkụ ígwè nwere ike ime ka micro-deflection. A ghaghị ihicha nke ọma ma lelee interface ọ bụla tupu ejikọta ya na njedebe ikpeazụ, na-ahụ na nkwụsi ike nke akụrụngwa na-ebufe ya n'enweghị ntụpọ n'ime sistemụ igwe n'onwe ya.
Site n'ịkwanyere ihe ndị a siri ike, ndị ahịa na-ahụ na ọ bụghị naanị na-etinye akụrụngwa, kama ha na-akọwapụta Datum nke ọma maka akụrụngwa ha dị oke oke - ntọala nke sayensị ihe onwunwe na nka nke ZHHIMG kwadoro.
Oge nzipu: Ọkt-29-2025