Nkwụsi ike na izi ezi nke igwe ọ bụla dị oke nkenke—site na nnukwu igwe nha nhazi (CMMs) ruo na ngwa lithography semiconductor dị elu—dabere na ntọala granite ya. Mgbe a na-emeso ntọala monolithic nke nnukwu nha, ma ọ bụ Granite Flat Panels dị mgbagwoju anya nke nwere ọtụtụ ngalaba, usoro nhazi na ntinye dị oke mkpa dịka nkenke nrụpụta n'onwe ya. Naanị itinye panel emechara ezughi oke; a ga-emezu ihe achọrọ maka gburugburu ebe obibi na nhazi iji chekwaa ma jiri obere oghere sub-micron nke panel ahụ kwadoro.
1. Ntọala ahụ: Ala kwụsiri ike, nke dị larịị
Echiche na-ezighi ezi a na-enwekarị bụ na panel granite ziri ezi, dịka nke e ji ZHHIMG® Black Granite anyị dị oke njupụta (3100 kg/m³) rụọ, nwere ike idozi ala na-adịghị akwụsi ike. Ọ bụ ezie na granite na-enye ike pụrụ iche, a ghaghị iji ihe owuwu e ji arụ ya kwado ya ka ọ ghara ịdaba n'ọnọdụ ogologo oge.
Ebe a na-ezukọ ga-enwerịrị ihe e ji simenti kpuchie nke na-adịghị naanị larịị kamakwa ọ gwọrọ nke ọma, ọtụtụ mgbe dịka nkọwa ndị agha si dị maka ọkpụrụkpụ na njupụta—na-egosi ala simenti siri ike nke ruru $1000mm n'ime ụlọ nzukọ ZHHIMG. Ihe dị mkpa bụ na a ga-ekewapụ ihe a site na isi iyi mpụta. N'ịmepụta ntọala igwe anyị kachasị ukwuu, anyị na-etinye echiche dị ka olulu mmiri mgbochi ịma jijiji gbara ụlọ metrology anyị gburugburu iji hụ na ntọala ahụ n'onwe ya kwụ ọtọ ma dị iche.
2. Akwa Mwepụ: Ịkpụcha na Ịhazi
A naghị ezere njikọ kpọmkwem n'etiti panel granite na ntọala simenti. A ghaghị ịkwado ntọala granite ahụ n'ebe ụfọdụ, nke a gbakọrọ na mgbakọ na mwepụ iji gbochie nrụgide dị n'ime ma nọgide na-enwe usoro nhazi ya. Nke a chọrọ usoro nhazi ọkachamara na oyi akwa nhazi.
Ozugbo e tinyere panel ahụ nke ọma site na iji ihe mkpuchi ma ọ bụ wedges a na-agbanwe agbanwe, a na-etinye grout siri ike, nke na-adịghị ebelata, nke ziri ezi n'ime oghere dị n'etiti granite na substrate ahụ. Grout pụrụ iche a na-agwọ iji mepụta njikọ dị elu, nke nwere nha nhata nke na-ekesa ibu panel ahụ n'otu oge, na-egbochi ịkwada ma ọ bụ mgbagọ nke nwere ike iweta nrụgide dị n'ime ma mebie ịdị larịị ka oge na-aga. Nzọụkwụ a na-agbanwe panel granite na ntọala ahụ nke ọma ka ọ bụrụ otu, nke jikọtara ọnụ, na nke siri ike.
3. Nha nhata okpomọkụ na nke oge
Dịka ọ dị n'ọrụ niile dị elu nke na-eme ka ihe dị mma, ndidi dị oke mkpa. Ogwe granite, ihe e ji grouting mee, na ihe e ji simenti mee ga-eru nha nha okpomọkụ na gburugburu ebe ọrụ tupu a na-enyocha nhazi ikpeazụ. Usoro a nwere ike were ụbọchị maka nnukwu panel.
Ọzọkwa, a ga-eme mgbanwe nhazi ọkwa ahụ—nke a na-eji ngwa dị ka laser interferometers na ọkwa eletrọniki—n'ime obere oge, na-enye ohere ka ihe ahụ dajụọ. Ndị ọkachamara anyị, bụ́ ndị na-agbaso ụkpụrụ metrology zuru ụwa ọnụ siri ike (DIN, ASME), ghọtara na ịgba ọsọ nhazi ikpeazụ nwere ike ibute nrụgide zoro ezo, nke ga-apụta ma emechaa ka izi ezi na-ada ada.
4. Njikọta nke Ihe Ndị Dị na Mgbakọ Omenala
Maka ihe ndị e ji Granite mee ma ọ bụ Granite Flat Panel nke ZHHIMG mepụtara nke na-ejikọta moto linear, ikuku bearings, ma ọ bụ CMM rails, mgbakọ ikpeazụ chọrọ ịdị ọcha zuru oke. Ụlọ nzukọ anyị dị ọcha, nke na-eṅomi gburugburu ngwaọrụ semiconductor, dị mkpa n'ihi na ọbụna obere uzuzu dị n'etiti granite na ihe mejupụtara ígwè nwere ike ibute obere mgbanwe. A ga-asacharịrị ma lelee interface ọ bụla nke ọma tupu e jikọta ya na nke ikpeazụ, na-ahụ na ebufere akụkụ ahụ n'ụzọ zuru oke na sistemụ igwe n'onwe ya.
Site n'ịkwado ihe ndị a siri ike a chọrọ, ndị ahịa na-ahụ na ha anaghị etinye naanị akụkụ, kama ha na-akọwapụta Datum kachasị mma maka akụrụngwa ha dị oke nkenke - ntọala nke sayensị ihe onwunwe na mmepụta ZHHIMG kwadoro.
Oge ozi: Ọktoba-29-2025