N'ebe dị mma dị ka nrụpụta semiconductor na mgbakọ ngwa anya, nchụso sub-micron ma ọ bụ ọbụna nanometer-ọkwa n'ọnọdu izi ezi site na multi-axis nkenke worktables enweghị njedebe. Granite dị elu (nke nwere njupụta nke ≥3100kg / m³) na-aghọ ihe dị mkpa maka imezi arụmọrụ nke ọrụ bench n'ihi njirimara anụ ahụ pụrụ iche. Ihe na-esonụ bụ nyocha nke uru ya na-enweghị atụ site na akụkụ anọ dị mkpa.
1. Nkwụsi ike pụtara ìhè: “ihe mgbochi okike” iji gbochie nnyonye anya ịma jijiji
Mgbe multi-axis worktable nọ n'ọsọ ọsọ dị elu (nke nwere ọsọ ahịrị karịa 500mm/s) ma ọ bụ na njikọ multi-axis, ịma jijiji dị mgbagwoju anya na-adịkarị mfe ime. A na-ejikọta ihe ndị dị n'ime ịnweta nke granite dị elu nke ọma, na-enwe oge okike dị ka 10-20Hz, ma nwee ike ịmịnye ihe karịrị 90% nke ike ịma jijiji nke mpụga. N'ime usoro nkwakọba ihe mgbawa nke semiconductor, ọ nwere ike ijikwa njehie mbugharị workbench n'ime ± 0.5μm, na-ezere mbelata waya ma ọ bụ mmebi mgbawa kpatara site na ịma jijiji. E jiri ya tụnyere ihe nkedo ọdịnala, ọnụ ọgụgụ mbelata mkpọtụ nke granite na-agba ọsọ ugboro atọ, na-eme ka nkwekọ nke nhazi ahụ dịkwuo mma.
2. Thermal kwụsie ike: The "Stabilizing arịlịka" megide okpomọkụ mgbanwe
Na gburugburu nhazi nhazi nkenke, mgbanwe okpomọkụ nke 0.1 ℃ nwere ike ime ka nrụrụ ihe nke 0.1μm / m. Ọnụ ọgụgụ nke mgbasawanye ọkụ nke granite dị elu bụ naanị (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, nke bụ ihe dịka 1/6 nke aluminum alloy. N'ọnọdụ dị elu dị elu dị ka igwe oghere anya anya, ọ bụrụgodị na okpomọkụ ụlọ ọrụ na-agbanwe site na ± 2 ℃, granite base nwere ike ịnọgide na-enwe ezi ọnọdụ micron-larịị nke isi akụkụ nke workbench, na-ahụ na njehie curvature oghere na-erughị 0.01D, karịa ụkpụrụ ụlọ ọrụ.
3. Ultra-high rigidity: The "Nkume ntọala siri ike" maka ibu ibu dị arọ
Multi-axis worktables na-ejikarị akụrụngwa dị arọ dị ka isi laser na usoro nyocha (nke nwere otu axis karịrị 200kg). The compressive ike nke elu-njupụta konkiri bụ ≥200MPa, na ọ nwere ike iguzogide a edo ibu ihe karịrị 1000kg/m² na-enweghị na-adịgide adịgide nrụrụ. Mgbe ụfọdụ aerospace Enterprise nakweere ihe a, mgbe ya ise-axis worktable bu a nhazi ibu nke 500kg, na Z-axis verticality njehie naanị mụbara site 0.3μm, n'ụzọ dị irè n'ịhụ na nhazi ziri ezi nke mgbagwoju curved elu.
4. Ogologo oge na-adịgide adịgide: Belata ọnụ ahịa okirikiri nke ndụ
Ike Mohs nke granite ruru 6 ruo 7, na nguzogide iyi ya karịrị okpukpu ise karịa nke ígwè nkịtị. N'ime ahịrị mmepụta ngwaahịa 3C nke na-arụ ọrụ maka nkezi nke 16 awa kwa ụbọchị, ntọala granite nwere ike nweta ọrụ na-enweghị mmezi maka afọ 8 ruo 10, ebe ihe nkedo nkedo na-egosi iyi na elu kọntaktị okporo ụzọ okporo ụzọ (omimi> 5μm) mgbe afọ 3 gachara. Na mgbakwunye, kemịkalụ kemịkalụ ya na-enyere ya aka ịnọgide na-enwe ike ịdị elu nke Ra≤0.2μm na gburugburu acidic na alkaline, na-enye ntụaka nrụnye kwụsiri ike maka ihe ndị ziri ezi dị ka ndị na-achị grating na moto linear.
Mmechi: Granite dị elu - "Onye mmeri zoro ezo" nke nrụpụta nke ọma
Site na ọnọdụ nanoscale na nhazi ọrụ dị arọ, granite dị elu na-emegharị ụkpụrụ teknụzụ nke multi-axis nkenke worktables na arụmọrụ ya na-enweghị atụ. Maka ụlọ ọrụ ndị na-agbaso nkenke na ntụkwasị obi zuru oke, ịhọrọ ntọala granite dị elu (dịka ngwaahịa ZHHIMG® nke usoro ISO atọ kwadoro) abụghị naanị nkwa maka mmepụta ugbu a kamakwa itinye ego na usoro nkwalite n'ọdịnihu.
Oge nzipu: Jun-09-2025