Kedu ka ikpo okwu anya granite ga-esi nweta nkwụsi ike nke 0.01μrad?

N'ihe gbasara nnwale ngwa anya nkenke na nrụpụta dị elu, nkwụsi ike n'akụkụ na ọkwa 0.01μrad bụ ihe ngosipụta. Igwe ihe nleba anya nke Granite, yana akụrụngwa akụrụngwa ha yana mmekọrịta teknụzụ, abụrụla ihe na-ebu ibu maka imezu oke dị oke elu.

Uru nke ihe na-etinye ntọala siri ike. Granite, dị ka nkume na-asọ oyi nke e ji nkà mmụta mbara igwe mebere ihe karịrị narị nde afọ, bụ onye a ma ama maka ọnụ ọgụgụ ya dị ala nke mgbasawanye ọkụ, nke bụ naanị ọkara nke ígwè na otu ụzọ anọ nke aluminom. Mgbe okpomọkụ na-agbanwe site na 1 ℃, akụkụ granite nke dị mita 1 na-agbasa naanị 6 micrometers, ebe akụkụ aluminom na-agbasa site na 23 micrometers. Nke a na-ezere n'ụzọ dị irè ngbanwe angular nke deformation thermal kpatara. Ka ọ dị ugbu a, ọmarịcha arụmọrụ ya nwere ike belata mkpọtụ mpụga ngwa ngwa, na-edobe ikpo okwu n'ọnọdụ kwụ ọtọ ma belata nnyonye anya na ngwa anya.

Nhazi nhazi nke ọma na-eme ka ike sie ike. Igwe ihe nleba anya granite, ka emechara nhazi usoro ihe arụrụ arụ, emela ka nkwụsi ike dịkwuo elu ma nwee ike iguzogide nrụrụ ibu nke ọma. Nhazi nhazi elu ya ruru ọkwa dị elu na ụlọ ọrụ ahụ. Inweta izi ezi nke ọkwa 00 na-ezute ọkọlọtọ GB4987-85 dịka ọmụmaatụ, nnabata dị larịị bụ naanị 2 × (1 + d/1000) μm (d bụ ogologo diagonal), na-enye ntụaka nrụnye dị larịị maka ngwa anya.

A na-enweta nhazi nhazi dị egwu site na mmekorita teknụzụ. Mgbe ejiri sistemu ikewapụ mmaji dị elu dị ka isi iyi ikuku ma ọ bụ ndọta ndọta, ikpo okwu granite nwere ike kewapụ ịma jijiji dị ala na nke dị elu. Na mgbakwunye na akụrụngwa nha dị elu dị ka laser interferometers, a na-enyocha mgbanwe akụkụ ahụ ozugbo. Ozugbo ndịiche gafere ọnụ ụzọ nke 0.01μrad, usoro nchịkwa nzaghachi na-eme ka usoro nhazi dị mma maka mgbazi ozugbo iji hụ na ikpo okwu na-adị mgbe niile na ọnọdụ dị elu ma kwụsie ike.

Site na ihe dị mkpa nke ihe ahụ ruo ike nkà na ụzụ, ikpo okwu anya granite, na nkwụsi ike nke okpomọkụ, nguzogide vibration na nhazi nhazi dị ka isi ya, jikọtara ya na nkà na ụzụ njikwa ọgụgụ isi, agbajiwo nke ọma site na 0.01μrad nkenke ọnụ ụzọ ma na-ejikarị eme ihe n'ubi dị egwu dị ka fotolithography, nyocha na nyocha nke laser. ngwa anya dị elu nke ọma ruo elu ọhụrụ.