N'ihe nyocha nke semiconductor wafer, ịdị ọcha nke gburugburu ebe obibi dị ọcha na-emetụta ngwaahịa ngwaahịa. Ka izi ezi nke usoro nrụpụta mgbawa na-aga n'ihu na-aga n'ihu, ihe ndị a chọrọ maka ibu nyiwe nke akụrụngwa nchọpụta na-esiwanye ike. Igwe ikpo okwu granite, nwere njirimara ha nke ntọhapụ metal ion efu na mmetọ ahụ dị ala, karịrị ihe igwe anaghị agba nchara ọdịnala wee bụrụ ihe ngwọta kachasị amasị maka ngwa nyocha wafer.
Granite bụ nkume na-egbuke egbuke nke sitere na mineral na-abụghị ọla dị ka quartz, feldspar na mica. Njirimara a na-enye ya uru nke ntọhapụ metal ion efu. N'ụzọ dị iche, igwe anaghị agba nchara, dị ka alloy nke ọla dị ka ígwè, chromium na nickel, na-adịkarị mfe na electrochemical corrosion n'elu ya n'ihi mbuze nke mmiri vepo na acidic ma ọ bụ alkaline gas na gburugburu ụlọ dị ọcha, na-ebute ọdịda nke metal ion dị ka Fe²⁺ na Cr³⁺. Ozugbo obere ion ndị a na-etinye n'elu wafer, ha ga-agbanwe njirimara eletriki nke ihe semiconductor na usoro ndị na-esote dị ka fotolithography na etching, na-eme ka voltaji dị elu nke transistor, na ọbụna na-eduga na obere sekit na sekit. Ọkachamara ule data data na-egosi na mgbe granite ikpo okwu nọgidere na-ekpughere simulated dị ọcha ụlọ okpomọkụ na iru mmiri gburugburu (23 ± 0.5 ℃, 45% ± 5% RH) maka 1000 awa, ntọhapụ nke metal ion bụ ala karịa nchọpụta ókè (<0.1ppb). Ọnụego ntụpọ nke wafers nke mmetọ ion metal na-ebute mgbe ị na-eji igwe anaghị agba nchara nwere ike ịdị elu ruo 15% ruo 20%.
N'ihe gbasara njikwa mmetọ ahụ, ikpo okwu granite na-arụkwa ọrụ nke ọma. Ime ụlọ dị ọcha nwere ihe dị oke elu chọrọ maka ntinye nke ihe kwụsịtụrụ na ikuku. Dị ka ihe atụ, na ISO Class 1 cleanrooms, ọnụ ọgụgụ nke 0.1μm ahụ ike kwa cubic mita adịghị gafere 10. Ọ bụrụgodị na igwe anaghị agba nchara n'elu ikpo okwu emewo polishing ọgwụgwọ, ọ nwere ike ka na-emepụta metal irighiri ihe ma ọ bụ oxide ọnụ ọgụgụ peeling apụ n'ihi na mpụga ike dị ka akụrụngwa vibration na pesonel ọrụ, nke nwere ike igbochi nchọpụta ngwa anya ụzọ ma ọ bụ ọkọ n'elu. Ngwunye granite, yana usoro ịnweta ha dị oke (njupụta ≥2.7g/cm³) na ike dị elu (6-7 na Mohs scale), anaghị adị mfe iyi ma ọ bụ agbaji n'oge eji ogologo oge. Ntụle ndị a tụrụ na-egosi na ha nwere ike belata ntinye nke ihe ndị kwụsịtụrụ na ikuku nke mpaghara akụrụngwa ihe karịrị 40% ma e jiri ya tụnyere igwe anaghị agba nchara, na-edobe ụkpụrụ ọkwa ọkwa dị ọcha nke ọma.
Na mgbakwunye na njirimara ya dị ọcha, arụmọrụ zuru oke nke nyiwe granite na-akarịkwa nke igwe anaghị agba nchara. N'ihe banyere nkwụsi ike nke thermal, ọnụọgụ ya nke mgbasawanye thermal bụ naanị (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, ihe na-erughị ọkara nke igwe anaghị agba nchara (ihe dị ka 17 × 10⁻⁶ / ℃), nke nwere ike ịnọgide na-enwe ezi nhazi nke akụrụngwa nchọpụta mgbe okpomọkụ dị n'ime ụlọ dị ọcha na-agbanwe. Ihe e ji mara elu damping (damping ratio> 0.05) nwere ike ime ka ịma jijiji nke ngwa ngwa ngwa ngwa ma gbochie nyocha nchọpụta site na ịma jijiji. Nguzogide corrosion eke ya na-enyere ya aka ịnọgidesi ike ọbụlagodi mgbe ekpughere ya na ihe mgbaze photoresist, gas etching na kemịkalụ ndị ọzọ na-enweghị mkpa mkpuchi mkpuchi ọzọ.
Ka ọ dị ugbu a, a na-eji ikpo okwu granite eme ihe n'ọtụtụ ebe n'ime ụlọ nrụpụta wafer dị elu. Data na-egosi na mgbe ịnakwere ikpo okwu granite, ọnụ ọgụgụ na-ezighị ezi nke nchọpụta ihe n'elu wafer ebelatala site na 60%, agbatịla usoro nhazi ngwa ngwa ugboro atọ, ọnụ ahịa mmepụta ihe agbadala site na 25%. Dị ka ụlọ ọrụ semiconductor na-aga n'ihu na nkenke dị elu, ikpo okwu granite, na uru ha bụ isi dị ka ntọhapụ metal ion efu na mmetọ ihe dị ala, ga-anọgide na-enye nkwado siri ike na nke a pụrụ ịdabere na ya maka nyocha wafer, na-aghọ ike dị mkpa na-ebuga ọganihu nke ụlọ ọrụ ahụ.
Oge nzipu: Mee-20-2025