Site na nnyonye anya elektrọnik ruo na ndakọrịta ikuku: Enweghị ike ịgbanwe ntọala granite na igwe lithography.

;
N'ihe gbasara imepụta semiconductor, dịka akụrụngwa bụ isi nke na-ekpebi kpọmkwem usoro mmepụta chip, nkwụsi ike nke gburugburu ime nke igwe fotolithography dị oke mkpa. Site na mkpali nke isi iyi ọkụ ultraviolet dị oke njọ ruo na ọrụ nke ikpo okwu mmegharị nanoscale ziri ezi, enweghị ike inwe obere mgbanwe na njikọ ọ bụla. Ntọala granite, nke nwere usoro ihe pụrụ iche, na-egosipụta uru na-enweghị atụ n'ịhụ na igwe fotolithography na-arụ ọrụ nke ọma na ime ka izi ezi nke fotolithography dịkwuo mma.
Njirimara nchekwa electromagnetic dị oke mma
Ime igwe fotolithography juputara na gburugburu elektrọnik dị mgbagwoju anya. nnyonye anya elektrọnik (EMI) nke ihe ndị dị ka isi iyi ọkụ ultraviolet dị oke njọ, moto draịva, na ihe ọkụ eletrik dị elu na-emepụta, ọ bụrụ na ejighị ya nke ọma, ga-emetụta arụmọrụ nke ihe elektrọnik ziri ezi na sistemụ anya dị n'ime akụrụngwa ahụ nke ukwuu. Dịka ọmụmaatụ, nnyonye anya nwere ike ibute obere mgbanwe na ụkpụrụ fotolithography. Na usoro mmepụta dị elu, nke a zuru ezu iji duga na njikọ transistor na-ezighi ezi na chip, na-ebelata mmepụta chip nke ukwuu.
Granite bụ ihe na-abụghị ọla, ọ naghịkwa eduzi ọkụ eletrik n'onwe ya. Enweghị ihe na-akpali electromagnetic nke mmegharị nke elektrọn efu dị n'ime na-akpata dịka ọ dị na ihe ndị e ji ígwè rụọ. Àgwà a na-eme ka ọ bụrụ ihe nchebe electromagnetic eke, nke nwere ike igbochi ụzọ nnyefe nke nnyonye anya electromagnetic dị n'ime nke ọma. Mgbe nnyonye anya magnet nke isi iyi nnyonye anya electromagnetic mpụta na-agbasa na ntọala granite, ebe ọ bụ na granite abụghị magnetik ma enweghị ike magnetization, nnyonye anya magnetik na-esi ike ịbanye, si otú a na-echebe ihe ndị bụ isi nke igwe fotolithography arụnyere na ntọala ahụ, dị ka ihe mmetụta ziri ezi na ngwaọrụ nhazi lenzi anya, site na mmetụta nke nnyonye anya electromagnetic na ijide n'aka na nnyefe ụkpụrụ ziri ezi n'oge usoro fotolithography.

Ndakọrịta ikuku dị mma
Ebe ọ bụ na ihe niile dị n'ime ya na-enweta ìhè ultraviolet dị oke njọ (EUV) ngwa ngwa, gụnyere ikuku, igwe lithography EUV ga-arụ ọrụ n'ebe ikuku na-adịghị. N'oge a, ndakọrịta nke ihe ndị dị n'ime akụrụngwa na gburugburu ebe ikuku na-aghọ ihe dị oke mkpa. N'ime oghere ikuku, ihe ndị dị n'ime ya nwere ike ịgbaze, gbazee ma wepụta gas. Gas ewepụtara anaghị amịkọrọ naanị ìhè EUV, na-ebelata ike na arụmọrụ mbufe nke ìhè, kamakwa ọ nwere ike imebi lenzi anya. Dịka ọmụmaatụ, uzuoku mmiri nwere ike ime ka lenzi ahụ dị oxidize, hydrocarbons nwekwara ike itinye oyi akwa carbon na lenzi ahụ, na-emetụta ịdị mma nke lithography nke ukwuu.
Granite nwere ihe ndị sitere na kemịkalụ kwụsiri ike ma ọ naghị ewepụta gas n'ebe ikuku na-adịghị. Dịka nnwale ọkachamara si kwuo, n'ebe ikuku na-adịghị ọcha nke igwe fotolithography e mere ka ọ dị (dịka ebe ikuku na-adịghị ọcha nke ukwuu ebe sistemụ ọkụ na sistemụ onyonyo dị n'ime ụlọ bụ isi dị, nke chọrọ H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), ọnụego ikuku na-apụ apụ nke ntọala granite dị oke ala, dị ala karịa nke ihe ndị ọzọ dị ka ọla. Nke a na-eme ka ime igwe fotolithography nwee ike ịnọgide na-enwe oke ikuku na ịdị ọcha ruo ogologo oge, na-ahụ na ọkụ EUV dị elu n'oge nnyefe yana gburugburu ojiji dị ọcha maka lenzi anya, na-agbatị ndụ ọrụ nke sistemụ anya, na-eme ka arụmọrụ zuru oke nke igwe fotolithography dịkwuo mma.
Nguzogide siri ike nke vibration na nkwụsi ike okpomọkụ
N'oge usoro fotolithography, izi ezi na ọkwa nanometer chọrọ ka igwe fotolithography ghara inwe obere mkpọtụ ma ọ bụ mgbanwe okpomọkụ. Mkpọtụ gburugburu ebe obibi nke ọrụ nke akụrụngwa na mmegharị ndị ọrụ ndị ọzọ na-emepụta n'ebe a na-arụ ọrụ, yana okpomọkụ nke igwe fotolithography n'onwe ya na-emepụta n'oge ọrụ, nwere ike igbochi izi ezi nke fotolithography. Granite nwere njupụta dị elu na udidi siri ike, ọ nwekwara ezigbo nguzogide ịma jijiji. Nhazi kristal mineral dị n'ime ya dị obere, nke nwere ike ibelata ike ịma jijiji nke ọma ma gbochie mgbasa nke ịma jijiji ngwa ngwa. Data nnwale na-egosi na n'okpuru otu isi iyi ịma jijiji ahụ, ntọala granite nwere ike ibelata njupụta ịma jijiji site na ihe karịrị 90% n'ime sekọnd 0.5. Ma e jiri ya tụnyere ntọala ígwè ahụ, ọ nwere ike weghachi akụrụngwa ahụ ka ọ kwụsie ike ngwa ngwa, na-ahụ na ọnọdụ dị n'etiti lenzi fotolithography na wafer ahụ, na izere mmechuihu ụkpụrụ ma ọ bụ nhazihie nke ịma jijiji kpatara.
Ka ọ dị ugbu a, oke mmụba okpomọkụ nke granite dị oke ala, ihe dị ka (4-8) ×10⁻⁶/℃, nke dị ala karịa nke ihe ígwè. N'oge ọrụ nke igwe fotolithography, ọbụlagodi na okpomọkụ dị n'ime na-agbanwe agbanwe n'ihi ihe ndị dị ka mmepụta okpomọkụ site na isi iyi ìhè na esemokwu sitere na ihe igwe, ntọala granite nwere ike ịnọgide na-enwe nkwụsi ike nha ma agaghị enwe nnukwu mgbanwe n'ihi mgbasawanye okpomọkụ na mkpụmkpụ. Ọ na-enye nkwado kwụsiri ike na nke a pụrụ ịtụkwasị obi maka sistemụ anya na ikpo okwu mmegharị ziri ezi, na-eme ka izi ezi nke fotolithography dịrị n'otu.