Site na nnyonye anya elektrọn ruo na ndakọrịta oghere: enweghị ngbanwe nke ntọala granite na igwe lithography.

;
N'ihe banyere imepụta semiconductor, dị ka akụrụngwa bụ isi nke na-ekpebi izi ezi nke usoro nrụpụta mgbawa, nkwụsi ike nke gburugburu ebe obibi nke igwe fotolithography dị oke mkpa. Site na mkpali nke isi iyi ọkụ ultraviolet dị oke egwu ruo na arụ ọrụ nke nanoscale precision motion platform, enweghị ike inwe ngbanwe pere mpe na njikọ ọ bụla. Ntọala Granite, nke nwere ọtụtụ ihe pụrụ iche, na-egosipụta uru na-enweghị atụ n'ịhụ na arụ ọrụ nke igwe fotolithography kwụsiri ike na ịkwalite izi ezi fotolithography. ;
Ịrụ ọrụ mkpuchi elektrọnịk pụtara ìhè
Ime nke igwe fotolithography jupụtara na gburugburu electromagnetic dị mgbagwoju anya. Ntinye aka eletrọnịkị (EMI) nke akụrụngwa dị ka isi iyi ọkụ ultraviolet dị oke egwu, moto draịva, na ihe na-enye ike ugboro ugboro, ma ọ bụrụ na a naghị achịkwa ya nke ọma, ga-emetụta arụmọrụ nke ngwa eletrọnịkị nkenke yana sistemu ngwa anya n'ime akụrụngwa. Dịka ọmụmaatụ, nnyonye anya nwere ike ịkpata ngbanwe dị nta na usoro fotolithography. N'ime usoro nrụpụta dị elu, nke a zuru oke iji duga njikọ transistor na-ezighi ezi na mgbawa, na-ebelata nke ukwuu mkpụrụ mgbawa. ;
Granite bụ ihe na-abụghị ọla na anaghị eduzi ọkụ eletrik n'onwe ya. Ọ dịghị ihe ọ bụla induction electromagnetic kpatara site na mmegharị nke electrons efu n'ime dị ka ọ dị na ihe ọla. Njiri mara a na-eme ka ọ bụrụ ahụ mkpuchi elektrọnịke sitere n'okike, nke nwere ike igbochi ụzọ nnyefe nke nnyonye anya elektrọnik dị n'ime. Mgbe mpaghara ndọta ọzọ nke sitere na isi iyi nnyonye anya elektrọnik nke mpụga na-agbasa na ntọala granite, ebe ọ bụ na granite abụghị ihe ndọta na enweghị ike ịmegharị ya, ebe ndọta ọzọ na-esi ike ịbanye, si otú a na-echebe akụkụ ndị bụ isi nke igwe fotolithography etinyere na ntọala, dị ka sensọ ziri ezi na oghere anya anya nke ngwaọrụ n'oge nnyefe elektrọnik, site na itinye aka nke ọma. usoro fotolithography. ;

Ndakọrịta oghere dị mma
N'ihi na ọkụ ultraviolet dị oke egwu (EUV) na-abanye ngwa ngwa site na ihe niile, gụnyere ikuku, igwe lithography EUV ga-arụ ọrụ n'ime oghere oghere. N'oge a, ndakọrịta nke akụrụngwa akụrụngwa na gburugburu oghere na-aghọ ihe dị oke mkpa. N'ime oghere, ihe nwere ike igbari, mebie ma hapụ gas. Ọ bụghị nanị na gas a tọhapụrụ na-amịkọrọ ìhè EUV, na-ebelata ike na nnyefe nke ọkụ, kamakwa ọ nwere ike imerụ anya anya anya. Dịka ọmụmaatụ, ikuku mmiri nwere ike oxidize lenses, na hydrocarbons nwere ike itinye akwa carbon na lenses, na-emetụta àgwà nke lithography nke ukwuu. ;
Granite nwere akụrụngwa kemịkalụ kwụsiri ike yana ọ naghị ahapụ gas na gburugburu oghere. Dị ka ndị ọkachamara ule, na a simulated photolithography igwe agụụ gburugburu (dị ka ultra-ọcha agụụ gburugburu ebe a ìhè ngwa anya usoro na Ihuenyo anya usoro na isi ụlọ dị, na-achọ H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ <10⁻ dị ala karịa ala), nke dị nnọọ ala karịa <10. nke ihe ndị ọzọ dị ka ọla. Nke a na-enyere ime ụlọ nke igwe fotolithography aka ịnọgide na-enwe ogo dị elu na ịdị ọcha ruo ogologo oge, na-eme ka nnyefe dị elu nke ìhè EUV n'oge nnyefe na ebe a na-eji ultra-dị ọcha maka anya anya anya, na-agbatị ndụ ọrụ nke ngwa anya, na ịkwalite arụmọrụ zuru oke nke igwe fotolithography. ;
Ike ịma jijiji na nkwụsi ike nke okpomọkụ
N'oge usoro fotolithography, nkenke ziri ezi na ọkwa nanometer chọrọ na igwe fotolithography agaghị enwe ntakịrị mkpọtụ ma ọ bụ nrụrụ ọkụ. Mgbagwoju anya gburugburu ebe obibi na-eme site na ịrụ ọrụ nke akụrụngwa ndị ọzọ na mmegharị ndị ọrụ na ogbako ahụ, yana ọkụ nke igwe fotolithography na-emepụta n'onwe ya n'oge ọrụ, nwere ike igbochi izi ezi fotolithography. Granite nwere nnukwu njupụta na udidi siri ike, ọ nwekwara nguzogide ịma jijiji mara mma. Ọdịdị kristal mineral dị n'ime ya bụ kọmpat, nke nwere ike belata ike ịma jijiji nke ọma ma gbochie mgbasawanye nke ọma ngwa ngwa. Data nnwale na-egosi na n'okpuru otu ebe ịma jijiji, granite base nwere ike ibelata njupụta nke vibration karịa 90% n'ime 0.5 sekọnd. E jiri ya tụnyere ntọala ígwè, ọ nwere ike iweghachi ngwa ngwa nkwụsi ike ngwa ngwa, na-eme ka ọnọdụ njikọ dị n'etiti oghere fotolithography na wafer, na-ezere nhụsianya ụkpụrụ ma ọ bụ ihe na-ezighị ezi kpatara site na ịma jijiji. ;
Ka ọ dị ugbu a, ọnụọgụ nke mgbasawanye ọkụ nke granite dị oke ala, ihe dịka (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, nke dị ala karịa nke ihe ọla. N'oge a na-arụ ọrụ nke igwe fotolithography, ọ bụrụgodị na okpomọkụ dị n'ime ya na-agbanwe n'ihi ihe ndị dị ka ọgbọ ọkụ sitere na ọkụ ọkụ na esemokwu sitere na ihe ndị na-emepụta ihe, isi granite nwere ike ịnọgide na-enwe nkwụsi ike nke akụkụ na ọ gaghị enwe nrụrụ dị ukwuu n'ihi mgbasawanye ọkụ na nkwekọrịta. Ọ na-enye nkwado kwụsiri ike na ntụkwasị obi maka sistemu ngwa anya na ikpo okwu ngagharị ziri ezi, na-ejigide nkwụsi ike nke izi ezi fotolithography.