N'ọhịa nke mmepụta ihe dị elu na nyocha sayensị dị elu, modul nke ziri ezi nke ikuku na-ese n'elu aghọọla ngwá ọrụ dị mkpa maka ịrụ ọrụ dị mma na nha na arụmọrụ ya dị oke mma. Ntọala ziri ezi granite, dị ka isi nkwado, nwere ihe siri ike chọrọ maka gburugburu ebe ọrụ, na ọnọdụ gburugburu ebe obibi kwesịrị ekwesị bụ ihe ndabere iji hụ na arụmọrụ ya kwụsiri ike na mmetụta kachasị mma.
Nke mbụ, njikwa okpomọkụ: nkenke "stabilizer"
Ọ bụ ezie na a maara granite maka nkwụsi ike ya, ọ naghị egbochi ya kpamkpam na mgbanwe okpomọkụ. Ọ bụ ezie na ọnụọgụ ya nke mgbasawanye ọkụ dị ala, n'ozuzu 5-7 × 10⁻⁶/℃, n'ọnọdụ njikwa mmegharị nke ọma, mgbanwe okpomọkụ dị nro ka nwere ike ịkpata mgbanwe n'akụkụ ma na-emetụta izi ezi modul. N'ime ogbako nrụpụta ihe mgbawa nke semiconductor, usoro lithography chọrọ nhazi ọkwa danami, yana ọnọdụ okpomọkụ na-agbanwe site na 1 Celsius C, na ntọala granite nwere ogologo akụkụ nke 1 mita nwere ike mepụta mgbasawanye ma ọ bụ nkwekọrịta nke 5-7 microns. Nke a obere mgbanwe na-ebunye site ultra-nkenke ngagharị modul nke ikuku sere n'elu, nke zuru ezu ime ka mgbawa lithography ụkpụrụ deviation na ukwuu ibelata mkpụrụ. Ya mere, a kwadebere ya na ntọala granite nkenke nke ikuku na-ese n'elu ultra-nkenke ngagharị modul, a ga-achịkwa ọnọdụ okpomọkụ dị mma na gburugburu 20 Celsius C ± 1 Celsius C, site n'enyemaka nke akụrụngwa okpomọkụ dị elu na-adịgide adịgide, dị ka sistemu ikuku na-ekpo ọkụ na iru mmiri, na-aga n'ihu na nleba anya nke ọnọdụ okpomọkụ, iji hụ na mgbanwe okpomọkụ dị na obere modul ahụ, iji hụ na nkwụsi ike nke obere ọrụ ahụ.
Nke abụọ, njikwa iru mmiri: isi ihe na-echebe nchebe mmiri "nkume"
Iru mmiri bụ ihe ọzọ dị mkpa na-emetụta arụmọrụ nke ntọala granite ziri ezi. N'ebe dị elu nke iru mmiri dị elu, granite dị mfe ịmịkọrọ mmiri mmiri, nke nwere ike iduga na condensation n'elu, nke ọ bụghị nanị na-emetụta nkwụsi ike njikọ nke granite na ultra-precision motion modul nke ikuku na-ese n'elu mmiri, kamakwa ọ nwere ike ime ka mbuze elu ma belata gloss na ziri ezi na ogologo oge. N'ebe a na-egweri oghere anya anya, ọ bụrụ na iru mmiri dị elu karịa 60% RH ruo ogologo oge, ikuku mmiri na-adaba n'elu ala granite ga-egbochi mmegharị nke ihe mmịfe gas na-ese n'elu, nke mere na lens na-egweri ziri ezi na-ebelata, na elu adịghị mma. Ya mere, ekwesịrị ịchịkwa iru mmiri dị n'akụkụ ebe a na-arụ ọrụ n'etiti 40% -60% RH, nke enwere ike nyochaa ma dozie ya ozugbo site na ịwụnye dehumidifiers, ihe mmetụta iru mmiri na akụrụngwa ndị ọzọ iji zere mmebi nke isi granite n'ihi oke iru mmiri, wee hụ na arụ ọrụ nke ọma nke modul ngagharị nke ikuku ikuku.
Nke atọ, nkwa ịdị ọcha: "onye nlekọta" nke nkenke
A pụghị ilele mmerụ ahụ nke uzuzu uzuzu na ntọala granite ziri ezi nke modul ngagharị nke oke ikuku nke ikuku flotation. Ozugbo ụmụ irighiri ihe ndị ahụ na-abanye na oghere ihe nkiri gas dị n'etiti ihe mmịfe gas na-ese n'elu na granite base, ha nwere ike imebi ịdị n'otu nke ihe nkiri gas, mụbaa esemokwu, na ọbụna kpachie elu nke isi ahụ, na-eme ka ibelata mmegharị ahụ. Na ultra-nkenke machining ogbako nke aerospace akụkụ, ma ọ bụrụ na uzuzu na ikuku na-ada na granite base, a na-emegharị trajectory nke machining ngwá ọrụ nwere ike na-akpaghasị, na-emetụta machining ziri ezi nke akụkụ. Ya mere, ebe a na-arụ ọrụ kwesịrị ịdị ọcha nke ukwuu, na-eru 10,000 ma ọ bụ ọbụna ọkwa dị elu nke ụkpụrụ ịdị ọcha, site na ntinye nke ihe ndị na-eme ka ikuku dị ọcha, dị ka ihe nzacha ikuku dị elu (HEPA), na-ehichapụ ihe ndị dị n'ájá n'ikuku, n'otu oge ahụ, ndị ọrụ kwesịrị iyi uwe na-enweghị uzuzu, mkpuchi akpụkpọ ụkwụ, wdg, iji belata uzuzu nke ụmụ mmadụ na-ebute. Nọgide na-arụ ọrụ nkenke dị elu nke granite base na ikuku sere n'elu ultra-nkenke ngagharị modul.
Anọ, ikewapụ ịma jijiji: arụ ọrụ nke ọma nke "pad ujo"
Igwe ịma jijiji dị n'èzí bụ onye iro nke izi ezi nke modul ngagharị nke ultra-nkenke nke ikuku sere n'elu. Ọ bụ ezie na ntọala granite nkenke nwere ụfọdụ ikike mbelata ịma jijiji, ịma jijiji dị elu ka nwere ike imebi oke nchekwa ya. A na-ebufe vibration site na okporo ụzọ gburugburu ụlọ ọrụ mmepụta ihe na ịrụ ọrụ nke nnukwu ngwá ọrụ na-ebufe na granite base site na ala, nke ga-egbochi mmegharị nke ziri ezi nke ultra-nkenke ngagharị modul nke ikuku sere n'elu. Na CMM dị elu, ịma jijiji nwere ike ime ka a tụle kọntaktị n'etiti ihe nleba anya na ihe arụrụ arụ ka ọ bụrụ nke na-adịghị akwụsi ike, na-ebute mgbagha nke data nha. Iji dozie nsogbu a, ọ dị mkpa iji nweta usoro ikewapụ nke ọma, dị ka ịtọpụ paịlị kewapụ vibration na mpaghara nrụnye akụrụngwa, iwulite ntọala ikewa vibration, ma ọ bụ iji sistemụ kewapụ nke ọma na-arụsi ọrụ ike na-ewepụ mkpọtụ mpụga, wee mepụta ebe ọrụ dị jụụ na kwụsiri ike maka ntọala granite nkenke na ikuku sere n'elu ultra-nkenke ngagharị ngagharị.
Naanị site n'ụzọ zuru ezu izute gburugburu ebe obibi chọrọ okpomọkụ, iru mmiri, ịdị ọcha na vibration akara, granite nkenke isi isi nke ultra-nkenke ngagharị modul nke ikuku sere n'elu nwere ike inye zuru play na ya arụmọrụ uru, na-enye a pụrụ ịdabere na nkwa maka ultra-nkenke arụmọrụ dị iche iche ubi, ma na-enyere ndị ụlọ ọrụ aka ịkwaga n'ebe a elu nkenke n'ichepụta na nkà mmụta sayensị larịị.
Oge nzipu: Eprel-08-2025