N'ihe gbasara mmepụta ihe dị elu na nnyocha sayensị kachasị ọhụrụ, modulu mmegharị nke ikuku na-efegharị efegharị aghọwo ihe dị mkpa maka ọrụ na nha dị mma site na arụmọrụ ziri ezi ya dị mma. Ntọala nkenke granite, dịka isi ihe nkwado, nwere ihe achọrọ siri ike maka gburugburu ebe ọrụ, ọnọdụ gburugburu ebe obibi kwesịrị ekwesị bụkwa ihe ndabere iji hụ na arụmọrụ ya kwụsiri ike na mmetụta kachasị mma.
Nke mbụ, njikwa okpomọkụ: nkenke "stabilizer"
Ọ bụ ezie na a maara granite maka nkwụsi ike ya, ọ naghị eguzogide mgbanwe okpomọkụ kpamkpam. Ọ bụ ezie na oke ya nke mgbasawanye okpomọkụ dị ala, n'ozuzu ya bụ 5-7 × 10⁻⁶/℃, n'ọnọdụ njikwa mmegharị nke ukwuu, mgbanwe okpomọkụ dị nro ka nwere ike ibute mgbanwe nha ma metụta izi ezi nke modulu. Na ụlọ ọrụ mmepụta chip semiconductor, usoro lithography chọrọ izi ezi nke ọnọdụ danami, okpomọkụ gburugburu na-agbanwe site na 1 ° C, ntọala granite nwere ogologo akụkụ nke mita 1 nwere ike imepụta mgbasawanye ahịrị ma ọ bụ mkpụmkpụ nke 5-7 microns. A na-ebufe obere mgbanwe a site na modul mmegharị nke ikuku na-efe efe, nke zuru oke iji mee ka ọdịiche ụkpụrụ lithography chip ma belata mmepụta nke ukwuu. Ya mere, e ji ntọala granite nke modulu mmegharị ikuku na-ese n'elu mmiri nke ukwuu, a ga-achịkwa okpomọkụ gburugburu ebe ọrụ kacha mma na 20 ° C ± 1 ° C, site n'enyemaka nke akụrụngwa okpomọkụ na-adịgide adịgide, dị ka sistemụ oyi na-agbanwe agbanwe na okpomọkụ na iru mmiri, nlekota na mgbanwe okpomọkụ gburugburu ebe obibi, iji hụ na mgbanwe okpomọkụ dị obere, na-eme ka nha ntọala kwụsie ike, iji hụ na modulu ahụ na-arụ ọrụ nke ọma.
Nke abụọ, njikwa iru mmiri: isi ihe dị mkpa maka "nkume" nchedo mmiri na-anaghị emebi emebi
Iru mmiri bụ ihe ọzọ dị mkpa na-emetụta arụmọrụ nke ntọala granite ziri ezi. N'ebe oke iru mmiri dị, granite dị mfe ịmịkọrọ uzuoku mmiri, nke nwere ike ibute mgbaze n'elu, nke na-emetụtaghị naanị nkwụsi ike njikọ nke granite na modulu mmegharị ultra-precision nke ikuku na-ese n'elu, kamakwa ọ nwere ike ibute mbuze elu ma belata gloss na izi ezi n'ikpeazụ. N'ebe a na-egweri lenzi anya, ọ bụrụ na iru mmiri dị elu karịa 60%RH ruo ogologo oge, uzuoku mmiri a na-etinye n'elu ntọala granite ga-egbochi mmegharị nke ihe mmịfe gas na-ese n'elu, nke mere na izi ezi nke lenzi ahụ na-ebelata, elu ahụ adịghịkwa mma. Ya mere, a ga-achịkwa iru mmiri dị n'akụkụ gburugburu ebe ọrụ nke ọma n'etiti 40%-60%RH, nke enwere ike inyocha ma gbanwee n'oge ozugbo site na itinye ihe na-ekpo ọkụ, ihe mmetụta iru mmiri na akụrụngwa ndị ọzọ iji zere mmebi na ntọala granite n'ihi oke iru mmiri, ma hụ na ọrụ dị mma nke modulu mmegharị ultra-precision nke ikuku na-ese n'elu.
Nke atọ, nkwa ịdị ọcha: "onye nche" nke nkenke
Enweghị ike ileghara mmebi nke uzuzu na ntọala granite ziri ezi nke modul mmegharị ultra-precision nke ikuku flotation anya. Ozugbo obere ihe ndị ahụ banyere n'ime oghere ihe nkiri gas dị n'etiti ihe mmịfe gas na-efe efe na ntọala granite, ha nwere ike imebi otu ihe nkiri gas ahụ si dị, mee ka esemokwu dịkwuo elu, ma kpaa elu nke ntọala ahụ, na-ebute mbelata izi ezi mmegharị. N'ime ụlọ ọrụ nhazi nke akụkụ ikuku, ọ bụrụ na ihe ndị dị n'ikuku ada na ntọala granite, ụzọ mmegharị nke ngwaọrụ nhazi ahụ nwere ike ịgbanwe, na-emetụta izi ezi nke akụkụ ndị ahụ. Ya mere, a ga-edebe ebe ọrụ ahụ ọcha nke ukwuu, na-eru ọkwa 10,000 ma ọ bụ karịa nke ụkpụrụ ịdị ọcha, site na ntinye nke akụrụngwa nhicha ikuku, dị ka nzacha ikuku dị elu (HEPA), na-ehichapụ ihe ndị dị n'ikuku, n'otu oge ahụ, ndị ọrụ kwesịrị iyi uwe na-enweghị uzuzu, mkpuchi akpụkpọ ụkwụ, wdg, iji belata uzuzu nke ụmụ mmadụ na-eweta. Nọgide na-enwe gburugburu ebe ọrụ dị elu nke ntọala granite na modulu mmegharị ultra-precision ikuku.
Anọ, mwepụ mkpọtụ: ọrụ dị nro nke "pad ujo"
Mkpọtụ mpụga bụ ihe na-emegide kpọmkwem nke modulu mmegharị ultra-precision nke ikuku na-ese n'elu mmiri. Ọ bụ ezie na ntọala granite ziri ezi nwere ikike igbochi mkpọtụ, mkpọtụ ike dị elu nwere ike imebi oke nchekwa ya. Mkpọtụ nke okporo ụzọ gburugburu ụlọ ọrụ mmepụta ihe na ọrụ nke nnukwu akụrụngwa igwe na-emepụta na-ebuga na ntọala granite site na ala, nke ga-egbochi izi ezi mmegharị nke modulu mmegharị ultra-precision nke ikuku na-ese n'elu mmiri. Na CMM dị elu, mkpọtụ nwere ike ime ka a tụọ njikọ dị n'etiti nyocha nha na ọrụ ahụ ka ọ ghara ịdịgide, na-ebute mgbanwe nke data nha. Iji dozie nsogbu a, ọ dị mkpa iji usoro mwepụ vibration dị irè, dị ka itinye pads mwepụ vibration na mpaghara nrụnye akụrụngwa, ntọala mwepụ vibration ụlọ, ma ọ bụ iji sistemụ mwepụ vibration na-arụ ọrụ iji gbanyụọ vibration mpụga nke ọma, ma mepụta gburugburu ọrụ dị jụụ na nke kwụsiri ike maka ntọala ziri ezi granite na modulu mmegharị ultra-precision ikuku na-ese n'elu mmiri.
Naanị site n'imezu ihe achọrọ maka gburugburu ebe obibi nke okpomọkụ, iru mmiri, ịdị ọcha na njikwa ịma jijiji, ntọala ziri ezi nke granite nke modulu mmegharị ultra-precision nke ikuku na-efegharị nwere ike inye uru arụmọrụ ya zuru oke, nye nkwa a pụrụ ịdabere na ya maka ọrụ ultra-precision n'ọtụtụ ngalaba, ma nyere ụlọ ọrụ aka ịga n'ihu na ọkwa nrụpụta na nyocha sayensị dị elu.
Oge ozi: Eprel-08-2025