Ụzọ nchọpụta maka flatness nke konkiriit ziri ezi nyiwe.

N'ihe gbasara nrụpụta nkenke na nyocha sayensị, ịdị larịị nke ikpo okwu granite bụ isi ihe na-egosi iji hụ na akụrụngwa ziri ezi. Ihe na-esonụ bụ mmeghe zuru ezu maka ọtụtụ ụzọ nchọpụta isi na usoro ọrụ ha maka gị. ;
I. Usoro nchọpụta interferometer laser
Interferometer laser bụ ngwa kachasị amasị maka ịchọpụta flatness dị elu. Were interferometer laser ZYGO GPI XP dịka ọmụmaatụ, mkpebi ya nwere ike iru 0.1nm. Mgbe ị na-eduzi nchọpụta ahụ, buru ụzọ dozie isi iyi nke interferometer na ikpo okwu wee kewaa elu ikpo okwu n'ime mpaghara 50mm × 50mm. Mgbe nke ahụ gasịrị, a na-anakọta data nnyonye anya n'ókè site n'ókè, wee tinye data ahụ ma nyochaa ya site na iji polynomial Zernike iji nweta njehie dị larịị. Usoro a na-adabara na ikpo okwu dị elu ma nwee ike ịchọpụta njehie flatness nke ≤0.5μm/m². A na-ejikarị ya achọpụta igwe fotolithography na ikpo okwu igwe na-ahazi nhazi atọ dị elu. ;
Ii. Usoro nhazi ọkwa eletrọnịkị
Nchọpụta nhazi ọkwa eletrọnịkị dị mfe iji rụọ ọrụ yana nke ọma. A na-ahọrọ ọkwa eletrọnịkị TESA A2 (ya na mkpebi nke 0.01μm / m) wee hazie ya n'usoro 9 × 9 n'akụkụ axis X / Y nke ikpo okwu. Site synchronously na-anakọta ọchịchọ ọchịchọ nke ọ bụla larịị wee na-eji kacha nta square usoro maka mgbako, flatness uru nwere ike nweta nke ọma. Usoro a nwere ike ịchọpụta n'ụzọ dị irè concavity mpaghara na ọnọdụ convexity nke ikpo okwu. Dịka ọmụmaatụ, enwere ike ịchọta mgbanwe nke 0.2μm n'ime oke 50mm, nke kwesịrị ekwesị maka nchọpụta ngwa ngwa na mmepụta oke. ;
Iii. Ụzọ enyo enyo Flat crystal
Usoro kristal anya dị larịị dabara adaba maka nchọpụta obere nyiwe mpaghara. Gbakwunye kristal ngwa anya nke ọma n'elu ka a nwalee n'elu ikpo okwu wee hụ nnyonye anya dị n'etiti ha n'okpuru ọkụ nke isi iyi monochromatic (dị ka oriọna sodium). Ọ bụrụ n'ọnyá ndị ahụ bụ ahịrị ndị kwụ ọtọ, ọ na-egosi ịdị larịị dị mma. Ọ bụrụ n'ọnyá agbagọ apụta, gbakọọ mperi mperi ahụ dabere n'ogo nke eriri eriri. Eriri ọ bụla gbagọrọ agbagọ na-anọchi anya ọdịiche dị elu nke 0.316μm, enwere ike nweta data flatness site na ntụgharị dị mfe. ;
Anọ. Usoro nyocha igwe nchikota atọ
Igwe a na-atụkọta ọnụ atọ nwere ike nweta nha nkenke dị elu na oghere akụkụ atọ. Debe ikpo okwu granite n'elu tebụl ọrụ nke igwe a na-atụ ihe ma jiri nyocha ahụ na-anakọta data n'otu n'otu site na ọtụtụ ihe nlere n'elu ikpo okwu. Sistemụ igwe a na-atụ ihe na-ahazi ma na-enyocha data ndị a iji mepụta akụkọ dị larịị nke ikpo okwu. Usoro a nwere ike ọ bụghị naanị ịchọpụta flatness, kamakwa nweta ihe ndị ọzọ geometric parameters nke ikpo okwu n'out oge, na adabara n'ụzọ zuru ezu nchọpụta nke nnukwu granite nyiwe. ;
Ịmụta ụzọ nchọpụta ndị a nwere ike inyere gị aka nyochaa n'ụzọ ziri ezi n'ụzọ ziri ezi n'ụzọ ziri ezi nke granite ziri ezi n'elu ikpo okwu na-enye a pụrụ ịdabere na nkwa maka kwụsiri ike na-arụ ọrụ nkenke akụrụngwa.