Usoro nchọpụta maka ịdị larịị nke nyiwe nkenke granite.

N'ihe gbasara imepụta ihe ziri ezi na nnyocha sayensị, ịdị larịị nke ikpo okwu granite ziri ezi bụ ihe na-egosi na akụrụngwa ziri ezi. Ihe na-esonụ bụ nkọwa zuru ezu banyere ọtụtụ ụzọ nchọpụta ihe ndị bụ isi na usoro ọrụ ha maka gị.
I. Usoro nchọpụta interferometer laser
Ngwa interferometer laser bụ ngwaọrụ a kacha mma maka nchọpụta larịị dị elu. Were ZYGO GPI XP laser interferometer dịka ọmụmaatụ, mkpebi ya nwere ike iru 0.1nm. Mgbe ị na-eme nchọpụta ahụ, buru ụzọ hazie isi iyi ọkụ nke interferometer ahụ na ikpo okwu ahụ wee kewaa elu ikpo okwu ahụ n'ime mpaghara grid 50mm × 50mm. Mgbe nke ahụ gasịrị, a na-anakọta data nnyonye anya site na isi, e wee tinye ma nyochaa data ahụ site na iji polynomial Zernike iji nweta njehie larịị. Usoro a dabara na ikpo okwu dị elu ma nwee ike ịchọpụta njehie larịị nke ≤0.5μm/m². A na-ejikarị ya eme ihe n'ịchọpụta igwe fotolithography na ikpo okwu igwe nha nhazi atọ dị elu.
Ii. Usoro nhazi ọkwa eletrọniki
Nchọpụta ọkwa eletrọniki dị mfe iji rụọ ọrụ ma dịkwa irè nke ukwuu. A họọrọ ma hazie ọkwa eletrọniki TESA A2 (nwere mkpebi nke 0.01μm/m) n'usoro 9 × 9 n'akụkụ ntụziaka X/Y nke ikpo okwu ahụ. Site na ịchịkọta data nkwụsịtụ nke ọkwa ọ bụla na iji usoro kacha nta maka ịgbakọ, enwere ike nweta uru dị larịị nke ọma. Usoro a nwere ike ịchọpụta ọnọdụ concavity na convexity mpaghara nke ikpo okwu ahụ nke ọma. Dịka ọmụmaatụ, enwere ike ịchọpụta mgbanwe nke 0.2μm n'ime oke 50mm, nke dabara adaba maka nchọpụta ngwa ngwa na mmepụta oke.
Iii. Usoro kristal dị larịị nke anya
Usoro kristal dị larịị nke anya dabara adaba maka ịchọpụta obere ikpo okwu mpaghara. Jikọọ kristal dị larịị nke anya ahụ nke ọma n'elu ka a nwalee ya n'elu ikpo okwu ahụ ma hụ akụkụ nnyonye anya nke dị n'etiti ha n'okpuru ìhè nke isi iyi ọkụ monochromatic (dị ka oriọna sodium). Ọ bụrụ na eriri ndị ahụ bụ eriri kwụ ọtọ, ọ na-egosi ezigbo larịị. Ọ bụrụ na eriri ndị ahụ apụta, gbakọọ njehie dị larịị dabere na ogo nke eriri ndị ahụ. Akara ndị ahụ a gbagọrọ agbagọ ọ bụla na-anọchite anya ọdịiche dị elu nke 0.316μm, enwere ike nweta data dị larịị site na ntụgharị dị mfe.
Anọ. Usoro nyocha igwe nha nhazi atọ
Igwe nha nha atọ nwere nhazi nwere ike iru nha ziri ezi dị elu n'ime oghere akụkụ atọ. Debe ikpo okwu granite n'elu tebụl ọrụ nke igwe nha ma jiri nyocha ahụ chịkọta data site na ọtụtụ ebe nha n'elu ikpo okwu ahụ. Sistemụ igwe nha na-ahazi ma na-enyocha data ndị a iji mepụta akụkọ dị larịị nke ikpo okwu ahụ. Usoro a enweghị ike ịchọpụta naanị larịị, kamakwa nweta paramita geometric ndị ọzọ nke ikpo okwu ahụ n'otu oge, ọ dịkwa mma maka nchọpụta zuru oke nke nnukwu ikpo okwu granite.
Ịmụta ụzọ nchọpụta ndị a nwere ike inyere gị aka inyocha nke ọma otú ikpo okwu granite si dị larịị ma nye nkwa a pụrụ ịtụkwasị obi maka ọrụ kwụsiri ike nke akụrụngwa ziri ezi.