N'ụwa asọmpi dị ukwuu nke imepụta ihe ngosi dị elu, ọdịiche dị n'etiti ndị isi ahịa na ndị na-anaghị arụ ọrụ nke ọma na-adaberekarị n'otu ihe: nkenke. Mmepụta na inyocha usoro Polycrystalline Silicon (LTPS) dị ala - ntọala maka ihuenyo OLED na LCD dị elu, nke nwere mkpebi dị elu - chọrọ nnabata nke na-akwalite ókèala nke injinia. Imezu ọkwa izi ezi a dị elu na-amalite site na ntọala anụ ahụ nke igwe ahụ n'onwe ya. Ọ bụ ya mere nhọrọ nke isi igwe granite maka akụrụngwa LTPS Array abụghị naanị nhọrọ imewe, kama ọ bụ ihe dị mkpa.
Usoro ndị dị na mmepụta LTPS array, ọkachasị laser crystallization na usoro fotolithography na deposition ndị na-esote, na-enwe mmetụta dị ukwuu na mkpọtụ gburugburu ebe obibi, gụnyere mkpọtụ dị nro na mgbanwe okpomọkụ. Ọbụna n'ime gburugburu ebe a na-ehicha ụlọ a na-achịkwa nke ọma, obere mgbanwe nwere ike imetụta mmepụta na ịdị n'otu nke array ahụ nke ukwuu. Usoro nyocha ahụ—nke akụrụngwa dị elu na-eme iji hụ na e guzobere transistor ọ bụla nke ọma—chọrọ ọkwa ka ukwuu nke iguzosi ike n'ezi ihe owuwu. Nke a bụ ebe ntọala igwe Granite maka Flat panel na-egosipụta obere okpomọkụ polysilicon array inspection tool na-aka mma nke ukwuu.
Mkpa Okpomọkụ na Ike nke Nnyocha LTPS
Teknụzụ LTPS na-enye ohere maka ngagharị elektrọn ngwa ngwa, na-eme ka transistors dị obere ma dị irè karị ma na-eduga na ngosipụta nwere ọsọ ume ọhụrụ na obere oriri ike. Agbanyeghị, ihe owuwu ndị dị na ya bụ obere microns, a na-atụ ha na microns. Ka akụrụngwa nyocha dị mgbagwoju anya wee chọta, tụọ, ma nyochaa ntụpọ nke ọma, ikpo okwu ọrụ ya aghaghị ịdị na-enweghị mmegharị ma na-agbanwe agbanwe n'akụkụ.
Ihe ndị e ji eme ihe dịka ígwè a kpụrụ akpụ ma ọ bụ ígwè, ọ bụ ezie na ha siri ike, nwere ike ịdị mfe ịgbasa okpomọkụ. Ọnụọgụ nke mgbasawanye okpomọkụ (CTE) maka ígwè nkịtị dị elu karịa nke granite ojii. Nke a pụtara na ntakịrị mmụba na okpomọkụ gburugburu ebe obibi, ikekwe naanị otu ogo ma ọ bụ abụọ, ga-eme ka nhazi igwe ígwè gbasaa ma gbakọta nke ukwuu. N'ihe gbasara nyocha usoro, mmụgharị okpomọkụ a na-akpata njehie ọnọdụ, nhazihie na ụzọ anya, na ọgụgụ nwere ike ịbụ ihe na-ezighi ezi nke nwere ike ibute ịjụ panel dị mma ma ọ bụ ịnakwere ndị nwere nkwarụ.
N'aka nke ọzọ, iji akwa igwe granite pụrụ iche maka ngwa LTPS Array na-enye ikpo okwu nwere CTE dị ala nke ukwuu. Nkwụsi ike okpomọkụ a na-eme ka o doo anya na geometry dị mkpa nke igwe ahụ—anya dị n'etiti ihe mmetụta nha na substrate LTPS—na-anọgide na-agbanwe agbanwe, na-enye ohere maka nha sub-micron na-agbanwe agbanwe, nke dị mkpa maka njikwa mma.
Ndapụ na Ịdị Ike nke Na-enweghị Ntụpọ
E wezụga nkwụsi ike okpomọkụ, ihe ndị dị n'ime granite na-enye nnukwu uru n'ịchịkwa ike na mkpọtụ ike. Sistemụ nyocha dị elu na-eji usoro ọsọ dị elu na usoro nyocha dị elu nke na-emepụta obere mmegharị igwe na mkpọtụ. Ike dị n'ime ndị a, yana mkpọtụ mpụga sitere na ndị na-ejikwa ikuku ma ọ bụ igwe dị nso, ga-adị ngwa ngwa na-egbochi mmegharị ahụ ma ọ bụ enweghị ike ịgụ ihe.
Ike dị elu nke granite n'ime, ihe onwunwe nke na-enye ya ohere iwepụ ike mkpọtụ ngwa ngwa karịa ọla, dị oke mkpa ebe a. Ọ na-arụ ọrụ dị ka ihe na-amịkọrọ ihe mberede, na-eme ka igwe ahụ laghachi azụ ngwa ngwa n'ọnọdụ zuru oke mgbe mmegharị ọ bụla gasịrị. Modulu dị elu nke mgbanwe na njupụta nke nkume ahụ na-enyekwa aka na nhazi siri ike nke ukwuu, na-ebelata ntụgharị siri ike n'okpuru ibu nke sistemu gantry dị arọ, mgbakọ anya, na ụlọ vacuum.
N'ikwu ya n'ụzọ dị mfe, site n'ịhọrọ ntọala igwe granite emechara nke ọma maka ngwa LTPS Array, ndị injinia na-eguzobe ntọala nke kwụsiri ike na okpomọkụ, nke dị jụụ n'olu, ma sie ike n'usoro. A naghị atụle ihe onwunwe a iji nweta ihe mgbaru ọsọ mmepụta na mmepụta achọrọ maka mmepụta ihe ngosi LTPS nke oge a.
Mmezu Injinia sitere na Okike
Ngwaahịa ikpeazụ—isi igwe granite—dị nnọọ anya na nkume e ji nkume rụọ. Ọ bụ ọrụ nkà mmụta metrology, nke a na-ejikarị eme ihe ruo n'ókè a tụrụ na obere micron ma ọ bụ ọbụna sub-micron. A na-eji usoro pụrụ iche eme ihe iji hụ na granite ahụ dị nro ma dịkwa larịị nke ọma. Ihe okike a a nụchara nke ọma na-enye ntụaka kachasị elu nke a na-ahazi nhazi igwe na anya niile na-esote.
Maka ndị na-emepụta ngwa LTPS array, njikọta nke granite dị oke nkenke na-eme ka igwe ha nwee ike ịrụ ọrụ mgbe niile na arụmọrụ kachasị elu, na-agbanwe ozugbo ka ọ bụrụ ihe na-arụpụta ihe dị elu na ngosipụta dị mma maka ahịa ndị ahịa. Ọ bụ ihe akaebe na mgbe injinia chọrọ izu oke zuru oke, ilekwasị anya na ihe okike kachasị kwụsie ike n'ụwa na-enye ngwọta kachasị ntụkwasị obi.
Oge ozi: Disemba-03-2025