N'ime ụlọ nyocha nhazi dị jụụ, ụlọ nhicha semiconductor, na ụlọ ọrụ metrology aerospace, mgbanwe dị jụụ na-aga n'ihu. Ọ bụghị naanị ngwanrọ ma ọ bụ sensọ ka ọ na-eduzi - kama ọ bụ ihe ndị mejupụtara ntọala nke nha n'onwe ya. Ihe ndị dị n'ihu na mgbanwe a bụ ngwaọrụ nha seramiiki dị elu, gụnyere ihe na-achịkwa ikuku seramiiki siri ike nke ukwuu na silicon-carbide siri ike nke ukwuu (Si-SiC) parallelepiped na square. Ndị a abụghị naanị ngwaọrụ; ha bụ ihe ndị na-eme ka oge ọhụrụ dị ebe a na-apụghị ịgbagha agbagha nkwụsi ike, imeghachi ihe, na nnọpụiche okpomọkụ.
Ruo ihe karịrị ọkara narị afọ, granite ojii chịrị usoro nhazi ziri ezi. Mmiri ya na-ebelata okpomọkụ, obere mgbasawanye okpomọkụ, na ịdị larịị dị mma mere ka ọ bụrụ ihe a na-ahụkarị maka efere elu, square, na nsọtụ kwụ ọtọ. Ma ka ụlọ ọrụ na-abanye na nnabata sub-micron na ọbụna nanometer-scale - karịsịa na semiconductor lithography, space optics, na quantum computing - oke granite apụtala ìhè nke ukwuu. Ọ dị arọ, ọ na-adị mfe ịnweta obere chipping mgbe ọ na-emetụ aka ugboro ugboro, n'agbanyeghị aha ya, ọ ka na-egosipụta obere ihe na-agafe n'okpuru ibu ma ọ bụ mgbanwe gburugburu ebe obibi.
Tinye seramiiki e ji aka rụọ: ọ bụghị ite ndị na-agbawa agbawa nke echiche kwa ụbọchị, kama ihe ndị dị oke arọ, ndị yiri ibe ha, na ndị nwere arụmọrụ dị elu nke e ji mee ihe n'okpuru oke okpomọkụ na nrụgide. N'ime ndị a, klas abụọ pụtara ìhè maka ojiji metrology: alumina dị ọcha (Al₂O₃) na silicon carbide nke ejiri mmeghachi omume jikọta (Si-SiC). Ọ bụ ezie na ha abụọ na-enye mmezi dị egwu karịa ihe ọdịnala, ha na-arụ ọrụ dị iche iche - ha na-anọchite anya ihe kachasị mma nke ihe ga-ekwe omume na metrology nha.
Were ihe na-achịkwa ikuku seramiiki kwụ ọtọ, dịka ọmụmaatụ. Emebere ya maka iji ya na usoro ikuku ma ọ bụ ihe na-eme ka ihe dị n'ime anya, ngwa a chọrọ ka ọ dị mma nke ukwuu, obere oke, na enweghị okpomọkụ na-agagharị.ndị ọchịchị seramiiki— nke e ji ígwè rụọ ruo n'ịdị larịị na n'ịdị larịị n'ime ±0.5 µm karịa 500 mm ma mee ka ọ dị nro n'elu ala n'okpuru Ra 0.02 µm—na-enye kpọmkwem nke ahụ. Njupụta ha dị ala (~3.6 g/cm³) na-ebelata inertia na sistemụ nha ike, ebe ọdịdị ha na-abụghị magnetik, nke na-anaghị eduzi na-ewepụ nnyonye anya na gburugburu eletrọnịkị ma ọ bụ magnetik dị nro. Na ngwaọrụ nyocha wafer ma ọ bụ ntọala nhazi laser tracker, ebe ọbụna obere nke ụta nwere ike ịgbagọ nsonaazụ, seramiiki ikuku kwụ ọtọ na-enye ntụaka kwụsiri ike, nke na-adịghị agbanwe agbanwe nke na-anọgide na-adị mma n'ofe mgbanwe okpomọkụ na usoro ọrụ.
Ma mgbe ọ dị mkpa ka a kpụọ ike na ike ọkụ—dịka nhazi enyo telescope mbara igwe ma ọ bụ usoro nyocha oghere laser dị elu—ndị injinia na-eji akụkụ silicon-carbide dị elu (Si-SiC) parallelepiped na square components mara. Si-SiC so n'ime ihe ndị kacha sie ike a maara, yana modulus Young karịrị 400 GPa—ihe karịrị ugboro atọ nke ígwè—na ike okpomọkụ na-asọmpi na aluminum. N'ụzọ dị mkpa, enwere ike ịmepụta coefficient nke mgbasawanye okpomọkụ (CTE) ya ka ọ dakọọ na iko anya ma ọ bụ wafer silicon, na-eme ka mgbasawanye dị iche iche dị nso na efu na mgbakọ ngwakọ. Square Si-SiC ejiri dị ka ihe ntụaka ukwu na ngwa lithography EUV agaghị ejide ụdị ya naanị—ọ ga-eguzogide mgbagọ sitere na okpomọkụ ma ọ bụ ịma jijiji mpaghara.
Ihe na-eme ka ihe ndị a kwe omume abụghị naanị ihe e ji arụ ọrụ ahụ, kama ọ bụ nkà nke imepụta ngwa nha seramiiki. Dịka ọmụmaatụ, nhazi nke Si-SiC chọrọ wiilị egweri diamond, ikpo okwu CNC sub-micron, na usoro lapping ọtụtụ ogbo nke a na-eme na gburugburu ebe okpomọkụ na-achịkwa. Ọbụna obere nrụgide fọdụrụnụ site na sintering na-ezighi ezi nwere ike ibute agha mgbe emechara igwe. Ọ bụ ya mere naanị mmadụ ole na ole na-emepụta ihe zuru ụwa ọnụ ji ejikọta mmepụta ihe, nhazi nkenke, na metrology ikpeazụ n'okpuru otu ụlọ - ikike nke kewapụrụ ezigbo ndị na-emepụta metrology na ndị na-ebunye seramiiki izugbe.
Na ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG), njikọta kwụ ọtọ a dị mkpa n'ọrụ anyị. Ngwaọrụ nha seramiiki anyị - gụnyere ụdị ihe eji arụ ọrụ ikuku kwụ ọtọ nke seramiiki nke DIN 874 Grade AA kwadoro na ihe eji arụ ọrụ silicon-carbide dị elu (Si-Si-C) parallelepiped na square nke a na-achọpụta na ọkọlọtọ PTB na NIST - ka emepụtara na ụlọ nhicha ISO Class 7 site na iji usoro sintering na mmecha nkeonwe. Akụkụ ọ bụla na-enweta nkwenye interferometric zuru oke, nkwenye CMM nke nnabata geometric (ịdị larịị, parallelism, perpendicularity), na nnwale iguzosi ike n'elu tupu ebuga ya. Nsonaazụ ya bụ ihe eji arụ ọrụ nke na-anaghị emezu nkọwapụta - ọ karịrị ha mgbe niile n'otu oge.
Ọchịchọ maka arụmọrụ dị otu a na-amụbawanye. N'ime mmepụta semiconductor, sistemụ EUV na lithography dị elu NA chọrọ nhazi nhazi kwụsiri ike ruo ọtụtụ iri nanomita karịa anya mita - agaghị ekwe omume na-enweghị njikọ okpomọkụ na igwe Si-SiC. Na mbara igwe, oche anya satịlaịtị emere na ntụaka seramiiki na-eme ka ọ kwụsie ike n'akụkụ gburugburu n'agbanyeghị oke okpomọkụ na-agbagharị. Ọbụna n'ọhịa ndị na-apụta dị ka nchọpụta ebili mmiri ma ọ bụ mmepe elekere atọm, ebe nkwụsi ike ọkwa picometer dị mkpa, ihe owuwu seramiiki na Si-SiC metrology na-aghọ ihe dị mkpa.
N'ụzọ dị oke mkpa, ngwaọrụ ndị a na-ejikwa nkwado na mkpokọta ọnụ ahịa nke onye nwe ya. Ọ bụ ezie na itinye ego mbụ na silicon-carbide parallelepiped dị elu nwere ike karịa nke nha granite, ndụ ọrụ ya nwere ike ịdị ogologo oge karịa ugboro 5-10 n'ebe a na-eji ya eme ihe nke ọma. Ọ chọghị mmanụ, ọ na-eguzogide ihe mgbaze na plasma niile a na-ahụkarị, ọ dịghịkwa mkpa nhazigharị n'ihi nnabata mmiri - n'adịghị ka ígwè a kpụrụ akpụ ma ọ bụ ọbụna ụfọdụ granite. Maka ndị njikwa mma na-arụ ọrụ n'okpuru ọkọlọtọ AS9100, ISO 13485, ma ọ bụ SEMI, ntụkwasị obi a na-asụgharị ozugbo na mbelata oge ọrụ, obere nchọpụta nyocha, na ntụkwasị obi ndị ahịa ka ukwuu.
Ọzọkwa, ekwesighi ileghara ịma mma na ọrụ nke ngwa ndị a anya. Si-SiC square a kpụchara akpụcha na-egbukepụ egbukepụ ma na-egbuke egbuke nke ígwè mana ọ dị obere ka ígwè. Ihe na-achịkwa ikuku seramiiki kwụ ọtọ na-adị ka ihe siri ike ma na-ebuli ya n'enweghị nsogbu - ọ dị mma maka nyocha aka n'ebe dị warara. Àgwà ndị a nke lekwasịrị anya na mmadụ dị mkpa na ụlọ nyocha ụwa n'ezie ebe ergonomics na mfe ojiji na-emetụta usoro ọrụ kwa ụbọchị.
Ya mere, ngwaọrụ nha seramiiki hà na-akọwagharị nkọwa ziri ezi dị oke elu? Azịza ya dị na data ahụ—nakwa na ndepụta ndị isi ụwa na-eto eto nke na-akọwapụta ha dị ka ọkọlọtọ. Site na ụlọ ọrụ metrology mba na-akwado ụkpụrụ ogologo ọgbọ na-esote ruo na ndị na-ebubata Tier 1 na-akwado akụkụ EV drivetrain, mgbanwe ahụ doro anya: mgbe a ga-ebelata ejighị n'aka, ndị injinia na-atụkwasị obi na seramiiki e ji aka rụọ.
Ka ụlọ ọrụ na-aga n'ihu na-aga n'ihu na-aga n'ihu na njikwa nha atọm, otu eziokwu na-aghọ ihe a na-apụghị ịgbagha agbagha: ọdịnihu nke nha agaghị abụ nke a kpụrụ site na nkume ma ọ bụ nke a kpụrụ n'ime ígwè. A ga-eme ka ọ dị ọcha, gwerie ya, ma jiri seramiiki—na silicon carbide—mee ya ka ọ dị mma.
ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) bụ onye nrụpụta ama ama n'ụwa niile na ngwọta metrology seramiiki na silicon-carbide nke dị oke mma. Ọkachamara na ngwa nha seramiiki, ọchịchị ikuku kwụ ọtọ seramiiki, na akụkụ silicon-carbide dị elu (Si-SiC) parallelepiped na square components, ZHHIMG na-enye ihe ochie asambodo zuru oke, nke a na-enweta n'ụlọ nyocha maka ngwa semiconductor, aerospace, protection, na nyocha sayensị. Site na asambodo ISO 9001, ISO 14001, na CE, ngwaahịa anyị bụ ndị ụlọ ọrụ teknụzụ kachasị elu n'ụwa niile tụkwasịrị obi. Chọpụta akwụkwọ ntuziaka metrology anyị dị elu nawww.zhhimg.com.
Oge ozi: Disemba-05-2025